Gebraucht KLA / TENCOR 5300 #120866 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 120866
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2001
Overlay measurement system, 8"
Process: PEP
Control console:
Console PC
Monitor
Keyboard and trackball
Video printer
Sub storage device (CD/floppy/tape)
Power and signal cables
Handler:
Robot
Power and signal cables
Inspection station:
Main body stage
X-Y chuck stage
Optics
Power and signal cables
Includes:
Site preparation manual
Software version upgrade manual
Operation manual
Customer logbook
Backup floppies (1 set)
208 V, 1 phase, 50/60 Hz, 12.5 A
2001 vintage.
KLA/TENCOR 5300 ist eine hochmoderne Wafer-Prüf- und Messtechnik, die speziell für die automatisierte und genaue Analyse von Halbleiterbauelementen entwickelt wurde. Es bietet eine vielseitige und benutzerfreundliche Plattform zur Auswertung und Charakterisierung von Wafern, Werkzeugen und Endkomponenten während der Produktion sowie Messungen und Charakterisierungen verschiedener Verpackungsformen, einschließlich, aber nicht beschränkt auf Chip-on-Board (COB), Ball Grid Array (BGA) und Flip-Chip-Designs. Das System besteht aus einer Computerarbeitsstation, einer Prüfstation und einer erweiterten CCD-Kamera. Der Arbeitsplatz ist mit einer Touchscreen-Schnittstelle, integrierter Bewegungssteuerung und interner Datenerfassung ausgestattet und bietet Kontrolle und Rückverfolgbarkeit von Testverfahren und Datenerfassung. Die Integrated Probe Station in KLA 5300 ist ein hochauflösender, programmierbarer Tastkopf, der sich leicht für verschiedene Wafergrößen und Sondenformen bewegt und einstellt. Es bietet auch hochgenaue Testmessungen und Datenerfassung. Neben seiner vielseitigen Sondenstation verfügt das Gerät über eine fortschrittliche CCD-Kameratechnologie zur Inspektion, Charakterisierung und Fehlererkennung. Die automatisierte Bildverarbeitungsmaschine in TENCOR 5300 ist in der Lage, Bilder bei hohen Auflösungen mit 20 µm Spotting-Genauigkeit und einem zuverlässigen Bildkorrekturwerkzeug mit hoher Integrität abzubilden. Automatische und anwenderorientierte Leistungsoptimierungstechniken, einschließlich automatisierter Nähte und dynamischer Fokussierung, ermöglichen eine qualitativ hochwertige Messtechnik. 5300 verfügt auch über eine Vielzahl von Anwendungen und Softwareoptionen, so dass Benutzer das Asset an ihre spezifischen Anforderungen anpassen können. Von der grundlegenden Prozesssteuerung bis hin zu fortschrittlichen IC-Tests bietet das Modell eine Vielzahl von Softwarepaketen und Optionen, mit denen Benutzer ihre Gerätekonfiguration an ihre spezifischen Anforderungen anpassen können. Abschließend ist KLA/TENCOR 5300 ein leistungsfähiges Wafer-Prüf- und Messtechnik-System, ausgestattet mit einer vielseitigen Sondenstation und fortschrittlicher CCD-Kameratechnologie. Mit seiner benutzerfreundlichen Touchscreen-Schnittstelle, integrierter Bewegungssteuerung und Datenerfassung sowie einer Vielzahl von Softwareoptionen ist KLA 5300 eine ideale Wahl für die Qualitätsprüfung und -analyse von Halbleiterbauelementen und -verpackungen.
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