Gebraucht KLA / TENCOR 5300 #9072400 zu verkaufen

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ID: 9072400
Overlay measurement system, 8" and 12" Open cassette.
KLA/TENCOR 5300 ist eine fortschrittliche Wafer-Prüf- und Messtechnik für die Halbleiter- und MEMS-Industrie. Es bietet überlegene Genauigkeit und Datenerfassungsfunktionen und ermöglicht die Erkennung und Auswertung von Fehlern und Strukturen kleiner als je zuvor. Das System nutzt fortschrittliche Technologien wie einheitliche Intelligenz und eine Reihe einzigartiger Tools. Diese helfen dabei, sowohl herkömmliche als auch anspruchsvolle Mängel zu identifizieren, wie Kreuzungen, Trennungen und Abstände. Diese Lösung bietet auch Bildverarbeitung und Analyse für anspruchsvolle Strukturen wie Linienkantenrauhigkeit und Beugungsgitter. Die Leistung der KLA 5300 wird durch einzigartige Detektoren, Kombinatoren und Scanheads ermöglicht. Es nutzt proprietäre optische Konfigurationen, erweiterte Optik und Softwaresteuerungen. Diese Technologien ermöglichen es dem Gerät, wiederholbare, zuverlässige Daten mit überlegener Gleichmäßigkeit zu produzieren. Es bietet auch eine verbesserte optische Auflösung von 20nm oder besser. Die automatischen Kalibrier- und Analysefunktionen der Maschine verbessern die Genauigkeit und reduzieren die Zeit. Die Weitfeldinspektion ermöglicht eine schnellere Erkennung sowohl subtiler als auch größerer Defekte. Die leistungsstarken Datenanalyse-Algorithmen des Tools ermöglichen automatisierte Messungen von Zeilensignaturen und Fehlerklassifizierungen. TENCOR 5300 bietet auch eine Vielzahl fortschrittlicher messtechnischer Lösungen. Dazu gehören automatisierte Messungen für Linearität, Gleichmäßigkeit und Photoresistdicke. Die Fehlerüberprüfung des Vermögenswertes ermöglicht auch automatisierte Fehlerklassifizierungen für die Ertragsanalyse, Lithographie-Fehleranalyse und Schadstofferkennung. Die messtechnischen Lösungen des Modells machen es ideal für die Überwachung der Produktionsqualität. Die Ausrüstung ist auf die Anforderungen der branchenweit höchsten Standards ausgelegt. Es ist sehr zuverlässig und wartungsfrei und bietet eine robuste Funktionserkennung, einen erweiterten Dynamikbereich und ein breites Sichtfeld. 5300 ist eine kostengünstige, genaue Lösung für zuverlässige Wafertests und Messtechnik. Es eignet sich für eine breite Palette von Prozesssteuerungs- und fortschrittlichen messtechnischen Anwendungen.
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