Gebraucht KLA / TENCOR 5300 #9161978 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9161978
Weinlese: 2001
Overlay measurement system
Hardware configuration:
Chuck: 8"
Handler: Open cassette with PRI dual end-effector robot
Cassette type: Dual open cassette
Line conditioner: Yes
Network: Yes
Signal tower: No
UPS: Smart-UPS 500
Main console: Yes
Load port: 8"
(2) Open cassette stations
VME:
CPU Board: Yes
Memory board: Yes
Video (Matrox) board: Yes
I/O Board: Yes
PZT Controller board: Yes
I/O Adapter board: Yes
Motion and controller:
Power supply: Yes
X Driver board: Yes
V Driver board: Yes
Z Driver board: Yes
T Driver board: Yes
L Driver board: Yes
XYT Stage: Yes
PM Target: Yes
Z Motor: Yes
Host chuck: 8"
Z PZT: Yes
PCB and pneumatics panel:
I/O Interface board
PZT Driver board
Interlock board
Pressure panel
Vacuum panel
Flotation module:
IDE Controller
(8) Motors
(3) Proximity sensors
(3) Hard stop
LINNIK and AMS:
HLS Lamp housing: Yes
Dual aperture: Yes
LLG: Yes
LlNNIK Camera: Yes
PIN Diode array: Yes
P PZT: Yes
Shutter: Yes
AMS Camera: Yes
Power module:
P Power transformer (Line conditioner): Yes
AC Compartment: Yes
Main DC power supply: Yes
HLS Power supply: Yes
Software configuration:
Operation system: Windows NT 4.0
Computer configuration:
CPU: Pentium II 400 MHz
RAM: 256M
(2) Hard drive disks: 9G
Floppy drive: Yes
CD ROM: Yes
Tape driver: Yes
Monitor: Yes
Thermal printer: Yes
Keyboard / Tracking ball: Yes
Facilities:
Input power: 225VAC, 50/60 Hz
Computer input power: 110 VAC
Input vacuum: 25 Inches Hg
Input CDA: 97 - 110 PSI
Handler check:
Robot: Yes
End effector: Yes
Pre aligner: Yes
L Cassette: Yes
R Cassette: Yes
Currently crated
2001 vintage.
KLA/TENCOR 5300 Wafer Testing and Metrology Equipment ist ein hochgenaues und präzises System zur Analyse und Bestimmung der Qualität eines Halbleiterwafers. Es wird von einem ultraschnellen Laserscanner angetrieben, der Waferabmessungen, Ebenheit und Dicke mit unglaublicher Genauigkeit in kurzer Zeit messen kann. Zu den Hauptmerkmalen des Geräts gehören der Hochgeschwindigkeits-Laserscanner, die Bildanalysesoftware sowie integrierte Software- und Hardwarepakete. Die Laseroptik ist in der Lage, den gesamten Wafer schnell und effizient abzutasten und alle notwendigen Daten wie Kanten, Linienlängen, Linienbreiten und andere Oberflächeneigenschaften zu extrahieren. Die Bildanalysesoftware nimmt dann Messwerte aus der Lasermaschine und erzeugt eine digitale Karte der Waferoberfläche, mit der Berichte, Zeichnungen und andere Datenausgänge erzeugt werden. Alle erhobenen Daten werden in einer großen Datenbank gespeichert, auf die jederzeit zugegriffen werden kann. Die integrierten Software- und Hardwarepakete geben dem Anwender leistungsstarke Werkzeuge, um komplexe Oberflächenformen schnell und genau zu messen und etwaige Anomalien oder Defekte im Wafer zu ermitteln. Die erforderlichen Korrekturparameter, die auf jeden Wafer anzuwenden sind, werden vom Werkzeug basierend auf den gesammelten Daten automatisch berechnet. KLA 5300 Wafer Testing and Metrology Asset liefert detaillierte Berichte zur Qualitätskontrolle und Produktentwicklung sowie zur Bewertung der Auswirkungen von Prozessvariationen auf die Waferqualität. Es ist ein hocheffizientes und zuverlässiges Modell mit einer benutzerfreundlichen Oberfläche, mit der Anwender sowohl regelmäßige als auch spezifische Inspektions- und Analysevorgänge schnell und effizient durchführen können. Seine Genauigkeit und sein Leistungsspektrum machen es zu einem unschätzbaren Werkzeug für jeden Halbleiterhersteller oder jedes Labor.
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