Gebraucht KLA / TENCOR 5300 #9161978 zu verkaufen

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ID: 9161978
Weinlese: 2001
Overlay measurement system Hardware configuration: Chuck: 8" Handler: Open cassette with PRI dual end-effector robot Cassette type: Dual open cassette Line conditioner: Yes Network: Yes Signal tower: No UPS: Smart-UPS 500 Main console: Yes Load port: 8" (2) Open cassette stations VME: CPU Board: Yes Memory board: Yes Video (Matrox) board: Yes I/O Board: Yes PZT Controller board: Yes I/O Adapter board: Yes Motion and controller: Power supply: Yes X Driver board: Yes V Driver board: Yes Z Driver board: Yes T Driver board: Yes L Driver board: Yes XYT Stage: Yes PM Target: Yes Z Motor: Yes Host chuck: 8" Z PZT: Yes PCB and pneumatics panel: I/O Interface board PZT Driver board Interlock board Pressure panel Vacuum panel Flotation module: IDE Controller (8) Motors (3) Proximity sensors (3) Hard stop LINNIK and AMS: HLS Lamp housing: Yes Dual aperture: Yes LLG: Yes LlNNIK Camera: Yes PIN Diode array: Yes P PZT: Yes Shutter: Yes AMS Camera: Yes Power module: P Power transformer (Line conditioner): Yes AC Compartment: Yes Main DC power supply: Yes HLS Power supply: Yes Software configuration: Operation system: Windows NT 4.0 Computer configuration: CPU: Pentium II 400 MHz RAM: 256M (2) Hard drive disks: 9G Floppy drive: Yes CD ROM: Yes Tape driver: Yes Monitor: Yes Thermal printer: Yes Keyboard / Tracking ball: Yes Facilities: Input power: 225VAC, 50/60 Hz Computer input power: 110 VAC Input vacuum: 25 Inches Hg Input CDA: 97 - 110 PSI Handler check: Robot: Yes End effector: Yes Pre aligner: Yes L Cassette: Yes R Cassette: Yes Currently crated 2001 vintage.
KLA/TENCOR 5300 Wafer Testing and Metrology Equipment ist ein hochgenaues und präzises System zur Analyse und Bestimmung der Qualität eines Halbleiterwafers. Es wird von einem ultraschnellen Laserscanner angetrieben, der Waferabmessungen, Ebenheit und Dicke mit unglaublicher Genauigkeit in kurzer Zeit messen kann. Zu den Hauptmerkmalen des Geräts gehören der Hochgeschwindigkeits-Laserscanner, die Bildanalysesoftware sowie integrierte Software- und Hardwarepakete. Die Laseroptik ist in der Lage, den gesamten Wafer schnell und effizient abzutasten und alle notwendigen Daten wie Kanten, Linienlängen, Linienbreiten und andere Oberflächeneigenschaften zu extrahieren. Die Bildanalysesoftware nimmt dann Messwerte aus der Lasermaschine und erzeugt eine digitale Karte der Waferoberfläche, mit der Berichte, Zeichnungen und andere Datenausgänge erzeugt werden. Alle erhobenen Daten werden in einer großen Datenbank gespeichert, auf die jederzeit zugegriffen werden kann. Die integrierten Software- und Hardwarepakete geben dem Anwender leistungsstarke Werkzeuge, um komplexe Oberflächenformen schnell und genau zu messen und etwaige Anomalien oder Defekte im Wafer zu ermitteln. Die erforderlichen Korrekturparameter, die auf jeden Wafer anzuwenden sind, werden vom Werkzeug basierend auf den gesammelten Daten automatisch berechnet. KLA 5300 Wafer Testing and Metrology Asset liefert detaillierte Berichte zur Qualitätskontrolle und Produktentwicklung sowie zur Bewertung der Auswirkungen von Prozessvariationen auf die Waferqualität. Es ist ein hocheffizientes und zuverlässiges Modell mit einer benutzerfreundlichen Oberfläche, mit der Anwender sowohl regelmäßige als auch spezifische Inspektions- und Analysevorgänge schnell und effizient durchführen können. Seine Genauigkeit und sein Leistungsspektrum machen es zu einem unschätzbaren Werkzeug für jeden Halbleiterhersteller oder jedes Labor.
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