Gebraucht KLA / TENCOR 5300 #9205445 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9205445
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2001
Overlay measurement system, 8"
Control console:
Console PC
Monitor
keyboard and mouse (Track ball)
Video printer
Sub storage device (CD / Floppy / Tape)
Power & signal cables
Handler:
Robot
Power & signal cables
Inspection staion:
Mainbody stage
X&Y chuck stage
Optic
Power & signal cables
Components name:
Line conditioner
Handler
Console PC
DSW
Power supply: 208V, 50/60 Hz, 12.5A, 1P
Manuals included
2001 vintage.
KLA/TENCOR 5300 ist eine revolutionäre Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die Anwendern die Möglichkeit gibt, integrierte Schaltungen, MEMs, Photovoltaik und andere Komponenten auf Waferebene schnell und genau zu analysieren. Dieses hochmoderne System ist das ideale Werkzeug für die Entwicklung und Fehlerbehebung. KLA 5300 liefert präzise Messungen von elektrischen, physikalischen und chemischen Waferschichten. Es führt elektrische Tests durch, prüft mikroskopische Bilder und führt optische Messungen durch. Das Gerät ist empfindlich genug, um Merkmale so klein wie 0,2 μ m zu erkennen. TENCOR 5300 umfasst mehrere hochmoderne Werkzeuge, darunter spezialisierte Motoren, Kameras, Beleuchtungssysteme und viele andere. Der Motor steuert beispielsweise die Stufe, auf der der Wafer aufliegt. Sie kann die Bühne über die Maschine bewegen, so dass verschiedene Abschnitte des Wafers untersucht werden können. Die Kamera nimmt Bilder des Wafers auf, so dass verschiedene Merkmale unter verschiedenen Vergrößerungen untersucht werden können. Zusätzlich ermöglicht das Beleuchtungswerkzeug dem Anwender, den Probenwafer während des Testvorgangs zu beobachten. 5300 enthält auch eine Reihe von Sonden zur Messung der elektrischen Eigenschaften des Wafers. Diese Sonden können Ströme, Spannungen, Kapazität und Leckagen messen. Die Sonden sind mit verschiedenen Kombinationen von Kapazität, Widerstand und Spannungsklemmfunktionen gekippt, die es ihnen erlauben, verschiedene elektrische Eigenschaften genau zu messen. Darüber hinaus ist das Asset mit Software ausgestattet, um die vom proprietären Modul benötigten Rohdaten zu generieren. Dieses Modul verwendet proprietäre Algorithmen, um die gesammelten Daten zu interpretieren und einen Bericht zu erstellen. Der Bericht enthält wertvolle Informationen über die Eigenschaften des Wafers und erleichtert Benutzern die Fehlerbehebung und das Design besserer Komponenten. KLA/TENCOR 5300 ist ein beeindruckendes Wafer-Prüf- und Messtechnik-Modell, das die neuesten hochpräzisen Messungen und Analysen anbietet. Diese Ausrüstung ist ein unschätzbares Werkzeug für diejenigen, die integrierte Schaltungen, MEMs und andere Komponenten auf Waferebene analysieren und entwickeln möchten.
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