Gebraucht KLA / TENCOR 5300 #9205448 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9205448
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2001
Overlay measurement system, 8"
Control console:
Console PC
Monitor
keyboard and mouse (Track ball)
Video printer
Sub storage device (CD / Floppy / Tape)
Power & signal cables
Handler:
Robot
Power & signal cables
Inspection staion:
Mainbody stage
X&Y chuck stage
Optic
Power & signal cables
Components name:
Line conditioner
Handler
Console PC
DSW
Included:
Lexmax printer
Backup floppy
Spanner
Power supply: 208V, 50/60 Hz, 12.5A, 1P
2001 vintage.
KLA/TENCOR 5300 ist ein fortschrittliches Wafer-Prüf- und Messgerät, das auf die Halbleiterherstellung zugeschnitten ist. Als Teil der Sorterfamilie der fünften Generation setzt KLA 5300 intelligente Algorithmen, ausgefeilte Optik und branchenführende Messtechnik ein, um die Erkennung von Fehlern vor Ort zu unterstützen und die Leistung zu optimieren. TENCOR 5300 wurde für maximalen Durchsatz entwickelt und unterstützt eine breite Palette von hochgenauen Prüfkarten und Hardwarekomponenten, um Wafer und Chips mit höchster Genauigkeit und Geschwindigkeit zu überprüfen, zu klassifizieren und zu messen. Die fortschrittliche Siliziummikroskopie des Systems bietet 2D- und 3D-Bildgebung, die die Inspektion von Oberflächen- und Innenfehlern ermöglicht. Das einzigartige Design von 5300 gewährleistet eine Fehlerauflösung von bis zu 0,7 μ m. Die Datenerfassung und -analyse sind ebenfalls Bestandteil des Betriebs der Einheit. Durch die Kombination von technischem Wissen und fortschrittlicher Onboard-Analytik kann KLA/TENCOR 5300 eine Vielzahl von Fehlern genau erkennen, klassifizieren und messen. Zu den Besonderheiten gehören automatisierte Messung, automatische Ausrichtung, erweiterte Bildgebungsprozesse und eine Vielzahl automatisierter Dateneingabeoptionen. KLA 5300 wird in einer Vielzahl von Produktionsanwendungen eingesetzt, von der Bildgebung und Messung von Schritthöhen bis zum Scannen von zukunftsweisenden und TEM-Bildern. Es wird auch für Linienbreitenmessung, Prozessbewertung, Oberflächenrauhigkeitsprüfungen, 3D-Schichtung, Chip-Flipping, elektrostatische Entladungserkennung und Geräteprüfung verwendet. Um die Leistung zu maximieren, integriert TENCOR 5300 in eine Reihe fortschrittlicher Datenanalysetools, einschließlich des Vergleichs von Form zu Form, der SPC-Analyse, der Prüfung von Konstruktionsregeln und der Zuordnung von Chip zu Wafer. Darüber hinaus ermöglichen proprietäre Algorithmen zur Bildverbesserung eine bessere Fehlerklassifizierung. Alle auf der Maschine erfassten Daten können in branchenübliche Dateiformate exportiert werden, wodurch die Zusammenarbeit zwischen den Abteilungen zunimmt. Insgesamt bietet 5300 leistungsstarke, effiziente Unterstützung für Halbleiter-Wafer-Tests und Messtechnik. Mit fortschrittlicher Optik und Analytik, hochgenauen Sondenkarten und Automatisierung zur Unterstützung des Betriebs ermöglicht das Tool schnelle, präzise Fehlerprüfungen und -messungen.
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