Gebraucht KLA / TENCOR 5300 #9205449 zu verkaufen

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ID: 9205449
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2001
Overlay measurement system, 8" Control console: Console PC Monitor keyboard and mouse(Track ball) Video printer Sub storage device(CD / Floppy / Tape) Power & signal cables Handler: Robot Power & signal cables Inspection staion: Mainbody stage X&Y chuck stage Optic Power & signal cables Components name: Line conditioner Handler Console PC DSW Included: Site preparation manual Operation manual Customer logbook Backup floppy Power supply: 208V, 50/60 Hz, 12.5A, 1P Manual included 2001 vintage.
KLA/TENCOR 5300 ist eine automatisierte Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung für die Entwicklung, Herstellung und Reparatur fortschrittlicher Halbleiterbauelemente. Das System verfügt über einen automatisierten zweiseitigen, zweiseitigen, vertikalen Bewegungswafer-Handler zur Sicherung von bis zu 150mm (6 ") Wafern. Die einzigartig gestalteten Beschleunigerschienen beschleunigen und verlangsamen den Wafer-Handler für schnelle Ausrichtung und präzise messtechnische Messungen und Bildgebung. Der GigaView9-Detektor der KLA 5300 setzt drei Laser mit hoher Intensität ein, die genau auf jeden Werkzeugort einfallen, um eine fortschrittliche Oberflächenanalyse durchzuführen. Dies ermöglicht ein Echtzeit-Scannen mit zerstörungsfreier Bildgebung und Dunkelfeld-Bildgebung, die durch einen ProAutofinder erleichtert wird, um automatisch abzubildende Werkzeuge, Zielorte und Spurpfade zu erkennen. Darüber hinaus ermöglicht der Pulse Pattern Generator (PPG) des Geräts maßgeschneiderte TFT-Lösungen, von kleinen bis großen Düsengrößen, auf einer breiten Palette von Messgrößen. Eine benutzerfreundliche Softwareumgebung mit Data expert Interval Explorer (DEXIE) vereinfacht die Bedienung und bietet statistische Analysefunktionen wie Fähigkeitsgrenzen und Histogramme. Darüber hinaus unterstützt die Maschine auch mehrere Auswahlwerkzeuge für die Wafer-Map-Analyse, um die Qualitätskontrolle zu gewährleisten. Mit seiner robusten Wafermess- und Messtechnik-Leistung ist TENCOR 5300 eine schnelle, kostengünstige Lösung für die fortschrittliche Waferherstellung und Geräteentwicklung. Durch die Kombination branchenführender Messleistung mit intuitiver benutzerfreundlicher Software ermöglicht das Tool eine schnelle und zuverlässige Prozesssteuerung. Mit dem breiten Spektrum an Funktionen und Fähigkeiten der Anlage können Qualitätskontrollteams präzise und wiederholbare Messungen bei der Herstellung und Reparatur von Wafern sichergestellt werden.
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