Gebraucht KLA / TENCOR 5500 Surfscan #194942 zu verkaufen

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ID: 194942
Patterned wafer inspection system.
KLA/TENCOR 5500 Surfscan ist eine Wafertest- und Messtechnik-Ausrüstung, die in der Halbleiterindustrie verwendet wird. Das System zeichnet sich bei der Erkennung von Oberflächen- und Schnittstellenfehlern auf Wafern aus und bietet eine leistungsstarke statistische Datenanalyse, mit der Geräteingenieure die Leistungsmerkmale genau bestimmen können. Die Surfscan-Einheit KLA 5500 wird für ein breites Anwendungsspektrum im gesamten Waferherstellungsprozess eingesetzt, einschließlich Qualitätssicherung, Ertragsverbesserung, Prozesscharakterisierung, Fehleranalyse und Ursachenanalyse. Die Maschine bietet hohe Leistung in einer Reihe von Wafergrößen und Anwendungen, um eine maximale Qualitätskontrolle zu gewährleisten. TENCOR 5500 Surfscan-Werkzeug ermöglicht es Herstellern, schnell Oberflächen- und Schnittstellenfehler auf dem Wafer zu erkennen, die sonst die Qualität des Endgeräts beeinflussen könnten. Es verfügt über drei primäre Technologien, die es ermöglichen, schnelle und genaue Tests zu erreichen: Scanning White Light Interferometry (SWLI), Multi Angle Convergent Beugung (MACE) und Rasterelektronenmikroskopie (SEM). SWLI liefert schnelle und hochempfindliche Wafer-Oberflächenmesstechnik, indem selbst kleinste subtile Variationen in Oberflächen- und Grenzflächenformen erkannt werden. MACE hilft, falsche Fehlererkennungen zu reduzieren und kann verwendet werden, um Grenzflächeneigenschaften auf einer Vielzahl von Technologien zu charakterisieren. Schließlich bietet SEM eine automatische Erkennung von Strukturfehlern wie schlechter Dotierstoffabdeckung oder schlechter Kontaktbildung. 5500 Surfscan Asset bietet auch eine Reihe fortschrittlicher Funktionen, die Ingenieuren helfen, falsche Ablehnungen zu vermeiden und Leistungsmerkmale genau zu bestimmen. Dazu gehören statistische Datenanalysen, anpassbare Prozesse und Echtzeit-Fehlererkennung. Diese Funktionen machen es einfach, Fehler schnell zu erkennen und zu diagnostizieren, so dass Hersteller keine Ressourcen verschwenden, die dieselben Arten von defekten Wafern wiederherstellen. Insgesamt ist KLA/TENCOR 5500 Surfscan ein unschätzbares Werkzeug in der modernen Halbleiterherstellung. Es fügt eine Reihe fortschrittlicher Technologien perfekt zu einem umfassenden Wafer-Test- und Metrologiemodell zusammen, das die Effizienz maximiert und Gerätetechnikern hilft, Leistungsmerkmale genau zu bestimmen und gefährliche Fehler zu erkennen.
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