Gebraucht KLA / TENCOR 5500 Surfscan #293587041 zu verkaufen
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ID: 293587041
Wafergröße: 4"-6"
Inspection system, 4"-6"
Process: Cassette to cassette
High throughput
High resolution.
KLA/TENCOR 5500 Surfscan ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik, die in der Halbleiterindustrie für präzise Wafermessungen eingesetzt wird. Dieses System ist eine hochgenaue, berührungslose Einheit, die bei der Messung der Form und des Profils von gemusterten und nicht gemusterten Wafern verwendet wird. Mit einem automatisierten optischen Profiler ist die Maschine in der Lage, extrem geräuscharm, schnell und präzise über eine breite Palette von Materialien zu scannen. KLA 5500 Surfscan verwendet ein berührungsloses optisches Mikroskop und ein proprietäres Laserscanning Interferometry (LSI) -Werkzeug, um über eine Reihe von Wafermaterialien zu messen. Das LSI-Asset erstellt eine dreidimensionale Karte der Topographie eines Wafers, mit der Benutzer die Oberflächenmerkmale selbst kleinster Merkmale überprüfen, analysieren und berichten können. Das Modell ist in der Lage, Formen und Höhen von Oberflächenmerkmalen bis zu 10 Nanometer zu erkennen. Neben der Messung von Oberflächenmerkmalsformen und -höhen misst TENCOR 5500 Surfscan den Widerstand eines Wafers. Mit dieser Messung wird der elektrische Widerstand des Wafers charakterisiert, der für die Funktion und den Ausfall eines elektronischen Gerätes wichtig ist. 5500 Surfscan ist in der Lage, Widerstand mit einem hohen Grad an Genauigkeit zu messen, so dass Benutzer Spannungsänderungen erkennen und überwachen können, insbesondere in ICs, Transistoren und anderen rückverfolgbaren Komponenten. KLA/TENCOR 5500 Surfscan ist auch mit einer Software-Anwendung ausgestattet, die eine visuelle Interpretation und Analyse von Waferdaten ermöglicht. Durch das schnelle und genaue Diagrammen und Interpretieren von Daten können Anwender ein besseres Verständnis ihrer Wafermuster für weitere Studien und Experimente erlangen. Dieses Gerät ist benutzerfreundlich und ermöglicht einen automatisierten Betrieb für noch präzisere Ergebnisse. Insgesamt ist KLA 5500 Surfscan ein zuverlässiges und leistungsstarkes Wafertest- und Messtechniksystem. Seine Fähigkeit, Form und Profil in einer hohen Auflösung zu messen, zusammen mit der Erkennung von Oberflächenmerkmalsformen und Widerstand, bietet Benutzern zuverlässige Daten, die bei der Konstruktion und Herstellung von Halbleitern verwendet werden können. Darüber hinaus bietet die Software-Anwendung hilfreiche visuelle Analysetools, mit denen Benutzer Waferdaten schnell und einfach interpretieren, analysieren und berichten können. Als solches ist TENCOR 5500 Surfscan ein unverzichtbares Werkzeug in der Halbleiterindustrie.
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