Gebraucht KLA / TENCOR 5500 Surfscan #293594917 zu verkaufen

KLA/TENCOR 5500 Surfscan ist eine hochmoderne Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung zur Erkennung und Bewertung kritischer Fehler bei der Herstellung von Halbleiterscheiben. Das System ist in der Lage, eine Vielzahl von Defekten zu erkennen und zu messen, einschließlich Gruben, Risse, Korngrenzen, dünne Filme und Rückstände, Ungleichmäßigkeit der Waferdicke, Kette oder Bogen, Partikelverschmutzung und Ungleichmäßigkeit des Widerstandes. Darüber hinaus unterstützt die fortschrittliche Technologie von KLA 5500 Surfscan sowohl elektrische Tests als auch die Kunstwerkinspektion für eine schnellere und genauere Fehlererkennung. TENCOR 5500 Surfscan ist für Produktivität konzipiert, gebaut mit einem schnellen und intuitiven automatisierten Messverfahren, das wiederholbare Genauigkeit und präzise Kontrolle ermöglicht. Das Gerät ist mit Hunderten von Sensoren und Abtaststufen ausgestattet, um die Abmessungen genau zu messen, sowie hochauflösende Bildgebungs- und Datenanalyse-Algorithmen, die Fehler identifizieren und kategorisieren. Die eingebaute Software richtet Wafer automatisch aus und misst Fehlerstellen und ermöglicht schnelle Screenings von bis zu 160 Wafern pro Stunde. Die Maschine verfügt außerdem über ein optionales erweitertes Konturprofil-Messsystem, das seine Fehlererkennungsfunktionen verbessert und eine effiziente und präzise Messung der Oberflächenprofilrauhigkeit und anderer physikalischer Merkmale ermöglicht, einschließlich Profilgeometrie, Schritthöhen und Über- und Unterschiebewinkel. 5500 Surfscan bietet mehrere Abbildungsmodi, einschließlich Hellfeld, Dunkelfeld und differentielle Bildgebung, um bei der Bestimmung von Fehlergröße, Dichte und Orientierung zu helfen. Die Hardware von KLA/TENCOR 5500 Surfscan ist hochgradig konfigurierbar, mit mehreren Kameras und Objektiven, die konfiguriert werden können, um Bilder aus verschiedenen Winkeln aufzunehmen. Das Werkzeug ist mit einer Vielzahl von Beleuchtungsquellen ausgestattet, einschließlich LED und Quecksilberbogenlampen, und kommt mit einer breiten Palette von Zubehör wie externe Filterwürfel und Spektrometer, Mini-Spezifikationssysteme und Digitalisierungsmodule. Eine beheizte Stufe ermöglicht es Benutzern, eine Probe zu analysieren, während sie sich in einer Hochtemperaturumgebung befindet. Darüber hinaus ist KLA 5500 Surfscan mit einer Reihe fortschrittlicher Softwareprogramme kompatibel, um seine Genauigkeit und Effizienz zu maximieren. Dazu gehören dynamische Analysesoftware, Flowvision-Software und Curv-x-Software, die eine umfassende Analyse und Berichterstattung über Oberflächenmerkmale, Profilanalyse und Dimensionierung der Fehler ermöglicht. Dies ermöglicht eine rechtzeitige Rückmeldung für die Prozesssteuerung und -überwachung und trägt zur Gewährleistung einer fehlerfreien Produktion mit verkürzter Umlaufzeit bei.