Gebraucht KLA / TENCOR 5500 Surfscan #55391 zu verkaufen

KLA/TENCOR 5500 Surfscan ist eine fortschrittliche Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die Tests und Analysen verschiedener Arten von Halbleiterbauelementen mit hohem Durchsatz ermöglicht. Dieses System ist mit einer erweiterten optischen Streuungseinheit integriert, die eine verbesserte Charakterisierung von Strukturen und elektrischen Parametern auf einem Halbleiterbauelement ermöglicht. Diese Maschine verfügt außerdem über eine robuste Autofokus-Funktionalität, die die Bildgebung für Gleichmäßigkeit und kritische messtechnische Ergebnisse optimiert. Darüber hinaus ist KLA 5500 Surfscan in der Lage, geringe Verzerrungen zu testen, so dass es für die Auswertung von Geräten mit hohen Seitenverhältnissen und gekrümmten Oberflächen geeignet ist. TENCOR 5500 Surfscan kommt mit der Scan Generator Software, die Wafer-Tracking und globale Ausrichtungsmessung erleichtert. Diese Software unterstützt die Konfiguration und Auswertung mehrerer Funktionen, einschließlich globaler Ausrichtungsmessungen, optischer Streuung, Krümmungsradius, Neigung, beste Fokuspunkte usw. Darüber hinaus ermöglicht die mehrdimensionale Transformationsanalyse einen genauen Vergleich zwischen der tatsächlichen KE-Form und dem Zielgerät. Das Werkzeug verwendet in der Regel einen Luftlagerscanner zum Scannen von 500-mm-Wafern mit 4-Zoll und 6-Zoll-Messfeldern. Dieses Asset ist in der Lage, niedrige Musterdichten aufgrund seiner niedrigen Auflösungsstufen und hohen Geschwindigkeits-Scan-Raten zu messen. Es bietet auch drei verschiedene Scan-Optionen, einschließlich hochauflösender, mittlerer Auflösung und schneller Scan. Neben dem Scannen von Wafern bietet das Modell auch eine 3D-Drehstufe zur Messung diskreter Komponenten oder Geräte. 5500 Surfscan kommt mit benutzerfreundlicher Inspektionssoftware, die eine einfache Implementierung und Bedienung der Ausrüstung ermöglicht. Diese intuitive Software verfügt über eine grafische Benutzeroberfläche, die eine schnelle Einrichtung und Analyse der Ergebnisse ermöglicht. Die Software bietet auch leistungsstarke Datenanalyseoptionen, einschließlich Kurvenanpassung und Parameterextraktion, um eine effiziente Datenanalyse zu ermöglichen. Das System wird in einer Vielzahl von Wafer-Messtechnik-Anwendungen eingesetzt, einschließlich kritischer Geometrie-Bewertung, Mustertopologie-Messungen, Fehlererkennung und -analyse und anderen Inspektionsanwendungen. Es erleichtert auch Charakterisierungsstudien, Ertragserweiterungen, Prozessqualifizierung und andere Anwendungen im Zusammenhang mit Zuverlässigkeit und Prozessentwicklung. Die Echtzeit-Überwachungsfunktionen von KLA/TENCOR 5500 Surfscan machen es für die Inline-Prozesssteuerung und fortschrittliche Prozessverbesserung geeignet.