Gebraucht KLA / TENCOR 5500 Surfscan #9003849 zu verkaufen

KLA/TENCOR 5500 Surfscan ist eine automatisierte Wafertest- und Messtechnik-Ausrüstung, die von der Industrie verwendet wird, um die physikalische Integrität von Wafersubstraten zu messen. Dieses System erhält kritische Abmessungen im Mikrometer-Maßstab mit fortschrittlicher optischer Sensortechnologie über die Oberfläche des Geräts. KLA 5500 Surfscan liefert Submikron-Messungen in einer berührungslosen und nicht-invasiven Methode, wodurch ein virtuelles Bild der Oberfläche des Wafers erzeugt wird, das zur Beurteilung der Gleichmäßigkeit der Oberflächentopographie des Wafers verwendet werden kann. TENCOR 5500 Surfscan ist außergewöhnlich präzise und bietet weniger als 5 Nanometer (nm) Linearitätsgenauigkeit und 1 nm vertikale Genauigkeit, während gültige Messungen bei 4,5 mm minimaler Merkmalsgröße zur Verfügung gestellt werden. 5500 Surfscan erfasst 3D-Topographie-Informationen durch Scannen eines 3,5-Zoll-nominalen Wafers in voller Größe in digitaler Form. Dies geschieht mit einer 5500 linearen Abbildungseinheit (LIS) bestehend aus einem optischen Dual-Objektiv-Sensorkopf und einer CCD-Linearkamera. Während das LIS Daten erfasst, wird das zweidimensionale Bild in drei Dimensionen umgewandelt. Anschließend werden die Daten mit dem On-Track Programmer (OTP) von KLA/TENCOR 5500 Surfscan oder der Automatic Defect Review Machine (ADRS) verarbeitet, archiviert und überprüft. Der On-Track Programmer (OTP) ist eine eigenständige grafische Benutzeroberfläche (GUI), die den Wafer-Messvorgang automatisiert. Die in den OTP eingegebenen Daten umfassen Wafergröße, Teilenummer, Anzahl der Bilder in Schussgröße, Scanbereich, Zeilengeschwindigkeit und KE-Größe. Daraus erstellt das OTP einen Datenerfassungsplan, eine Reihe von Datenscans, die die Oberfläche des Wafers perfekt abdecken können. Es erstellt auch eine Karte der Mängel auf dem Wafer für die weitere Analyse. Die gesammelten Daten werden dann zur kontinuierlichen Überwachung und Nachmessung in der Datenbank des OTP zusammengestellt und gespeichert. Das Automatic Defect Review Tool (ADRS) ist ein Softwarepaket, das es den Betreibern ermöglicht, die vom On-Track Programmer gesammelten Daten zu überprüfen. Es verwendet eine Kombination aus fortschrittlichen Algorithmen und Software-Tools, um die Vor-und Nachher-Bilder eines Wafers zu vergleichen. Werden Unterschiede zwischen den beiden Bildern erkannt, wird der ADRS automatisch Bereiche zur manuellen Inspektion markieren. KLA 5500 Surfscan ist ein leistungsstarkes Werkzeug zur Sicherstellung der Qualität von Wafersubstraten. Es bietet eine berührungslose, nicht-invasive Methode zur schnellen und genauen Messung kritischer Waferabmessungen bis zu 1 nm in vertikaler Genauigkeit. Der On-Track-Programmierer erstellt einen Datenerfassungsplan und speichert die Daten zur weiteren Analyse, während das automatische Fehlerprüfungsobjekt eine benutzerfreundliche Schnittstelle für die Fehlerinspektion bietet. Insgesamt ist TENCOR 5500 Surfscan ein sehr zuverlässiges Wafertest- und Metrologiemodell, das hervorragende Ergebnisse liefert.