Gebraucht KLA / TENCOR 5500 Surfscan #9216063 zu verkaufen
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ID: 9216063
Inspection system
Locater blocks for wafers: 4" to 6", 8"
Upgraded with LCD screen instead of CRT
HeNe Laser.
KLA/TENCOR 5500 Surfscan ist eine branchenführende automatisierte Wafer-Prüf- und Messtechnik. Es wurde entwickelt, um hochpräzise optische Inspektions- und Topographiemessungen auf Halbleiterscheiben zu liefern. Die Werkzeuge bieten Mehrfachdurchmesser-, hochauflösende, wiederholbare Messfähigkeiten für die Inline- und Offline-Fehlerinspektion und Ertragsanalyse. KLA 5500 Surfscan verfügt über ein Multisensorsystem, das eine Vielzahl von Daten aus einem einzigen Testlauf sammeln kann. Dazu gehören optische Bilder des Wafers, topographische Messungen wie Schritthöhe und Ebenheit, Profil, SEM-Querschnittsbilder, Merkmalserkennung und -ausrichtung sowie Overlay. TENCOR 5500 Surfscan verwendet auch neuartige Bewegungssteuerung für schwebende Optiken, um einen vollen Bewegungsbereich um den Wafer und eine hochauflösende Abbildungseinheit zu gewährleisten, um Datenpunkte über den gesamten Wafer zu erfassen. Die Maschine umfasst auch Fehlerüberprüfungsfunktionen mit einem automatisierten Fehlererkennungsalgorithmus, um problematische Funktionen auf dem Wafer schnell zu identifizieren. Es verfügt über ein automatisiertes Fehlerverfolgungs-, Analyse- und Berichtstool, um prozessbezogene Fehler zu identifizieren und mehrere Sprachen zu unterstützen, sodass Kunden mit dem Asset in ihrer eigenen Sprache interagieren können. Darüber hinaus bietet KLA eine vollständige Reihe von Inspektionsstandards, Hardware und Software zur Datenerfassung sowie Kalibrierungsdienste von Drittanbietern an, um eine genaue Datenerfassung und -analyse sicherzustellen. 5500 Surfscan ist dank seines robusten Designs und seiner zuverlässigen, wiederholbaren Messungen zu einer beliebten Wahl in der Branche geworden. Das hochauflösende Mapping-Modell, die Fähigkeit, eine Vielzahl von Daten zu erfassen, und die automatisierten Fehlerüberprüfungsfunktionen machen es zu einer idealen Lösung für Wafer-Messtechnik-Anwendungen. Mit seiner leistungsstarken Software, automatisierten Fertigung und integrierten Reporting-Funktionen bietet KLA/TENCOR 5500 Surfscan eine umfassende Wafer-Testlösung für Halbleiterfabriken weltweit.
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