Gebraucht KLA / TENCOR 5500 Surfscan #9312779 zu verkaufen
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ID: 9312779
Inspection system
Cassette locator block set, 4"-6"
Locator block set, 8".
KLA/TENCOR 5500 Surfscan ist eine hochpräzise Wafer-Prüf- und Messtechnik, die präzise Messungen für Halbleiterchip-Hersteller liefert. Dieses System ist in der Lage, eine breite Palette von elektrischen, optischen, topographischen und chemischen Eigenschaften auf einer Vielzahl von Wafern und anderen Proben bis zu 200mm Durchmesser zu messen. KLA 5500 Surfscan verwendet eine fortschrittliche interferometrische Mehrwellenlängenplattform mit einer digitalen Objektivlinseneinheit, um Fehler und messtechnische Informationen auf der Oberfläche von Wafern genau abzubilden. Diese Maschine ist in der Lage, Submikron-Merkmale zu erkennen, und ermöglicht Fehlerklassifizierungen mit einer Genauigkeit von 0,1 μ m. TENCOR 5500 Surfscan verfügt auch über eine programmierbare Probenstufe, die die Flexibilität bietet, mehrere Proben- und Wafertypen zu messen. Das Tool enthält eine leistungsstarke Bilderfassungssuite, die Bilder von Proben mit hoher Granularität sammeln kann und genaue Messungen der physikalischen, elektrischen, optischen, topographischen und chemischen Eigenschaften ermöglicht. Darüber hinaus ermöglicht der integrierte Multi-Task-Prozessor von 5500 Surfscan eine Sub-Second-Analyse von Daten, die eine schnelle Bewertung kritischer Metrologiewerte ermöglicht. Das Asset wird mit einer branchenüblichen Datenbank als Datenarchivierungsmodell konfiguriert. Dies bietet einen sicheren Speicher für gesammelte Daten sowie erweiterte Animations- und Berichtserzeugungsfunktionen. Darüber hinaus ermöglicht die Datenarchivierung dem Anwender das schnelle Abrufen und Anzeigen relevanter Testdaten und -analysen. KLA/TENCOR 5500 Surfscan nutzt die branchenführende Steuerungssoftware KLA für anspruchsvolle Systemintegration und -steuerung. Die Software enthält eine Bibliothek mit leistungsstarken Analysetools, mit denen der Benutzer Trends in Wafer-Testdaten schnell erkennen und Fehlerparameter analysieren kann. Darüber hinaus unterstützt die Controller-Software mehrere Sprachen für eine einfache Integration in alle vorhandenen Fertigungsprozesse. Neben einer integrierten Hardware- und Softwarelösung bietet KLA 5500 Surfscan die Flexibilität, zusätzliche Peripheriegeräte von Drittanbietern zu integrieren. So kann der Anwender das Gerät an seine spezifischen Bedürfnisse anpassen und die Fähigkeiten der Maschine erweitern, während neue Technologien entwickelt werden. Abschließend ist TENCOR 5500 Surfscan ein sehr vielseitiges Wafer-Prüf- und Messtechnikwerkzeug, das eine genaue Messung mehrerer Eigenschaften auf einer Vielzahl von Wafer- und Probengrößen ermöglicht. Mit erweiterten Bildgebungsfunktionen, leistungsfähiger Datenanalysesoftware, sicherer Archivierung und der zusätzlichen Flexibilität der Integration mit Peripheriegeräten von Drittanbietern ist 5500 Surfscan eine zuverlässige Lösung für alle Ihre Anforderungen an Wafertests und Messtechnik.
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