Gebraucht KLA / TENCOR 6100 #293827879 zu verkaufen

KLA/TENCOR 6100 ist ein Wafer-Prüf- und Messtechnik-System, das in Halbleiterfabriken zur Messung und Inspektion vitaler Bauelementparameter verwendet wird. Es ermöglicht Waferherstellern, hochwertige Wafer mit maximaler Ausbeute zu liefern. KLA 6100 Gebrauch stirbt Bildkorrelationstechnologie und eine CCD Hochauflösende mit schnellen, effizienten und genauen Autofokusfähigkeiten verbundene Farbenkamera zur Datenbank. Mit dieser Kombination von Technologien hilft es, Fehler zu erkennen und die Prozessintegrität mit größerer Genauigkeit zu überprüfen. TENCOR 6100 ist in der Lage, 3D-Topographiedaten bei bis zu 3,75 Mikrometern mit einer Auflösung von 0,9 Mikrometern zu messen. Dies ermöglicht ein besseres Verständnis von Steigungen, Ebenheit und Mikrofeaturen auf einem Wafer. Mit dem Auto-Focus-System kann 6100 im Laufe der Zeit Änderungen an diesen 3D-Topographieparametern erkennen, um sicherzustellen, dass die Prozessintegrität erhalten bleibt. KLA/TENCOR 6100 verfügt auch über eine Reihe von eingebauten Messtechnikwerkzeugen, einschließlich optischer und streuender Systeme, Laserinterferometriesysteme und Signal-/Rauschmessung. Es bietet eine Reihe von Techniken, wie Edge Plunge und Focus/Depth of Field, um die Formintegrität zu bestimmen und verschiedene Geräteparameter zu überprüfen. Es ist auch mit fortschrittlichen Bildgebungs-Tools wie Echtzeit-farbbasierte Fehlererkennung (CBDF) und Echtzeit-Tools für kritische Dimension und Overlay (CDO) ausgestattet, die die Menge der Nachbearbeitung minimieren, die für die endgültigen Bilder erforderlich ist. KLA 6100 bietet erweiterte Datenverarbeitungsfunktionen, mit denen Benutzer mehrere Wafer-Maps und -Parameter verwalten können. Durch die Kombination von Zieldaten und Echtzeitbildern aus verschiedenen Messungen ist es möglich, einen umfassenden Bericht über Geräteleistung und Geräteüberprüfung zu erstellen. TENCOR 6100 ist eine effektive und zuverlässige Lösung für Waferhersteller, die ihren Prozess optimieren und Geräteparameter überprüfen möchten. Dank seiner Palette von Messtechnik, Bildgebung und Datenanalyse-Tools gewährleistet es Genauigkeit und Effizienz in der Wafer-Prüfung und Messtechnik.