Gebraucht KLA / TENCOR 6100 #9250107 zu verkaufen

KLA/TENCOR 6100 Wafer Testing and Metrology Equipment ist ein vollautomatisiertes Wafer-Inspektionswerkzeug, das entwickelt wurde, um Wafer-Fertigungsprozesse zu optimieren und den Ertrag zu maximieren. Es besteht aus mehreren Komponenten, darunter eine automatisierte Wafer-Gehäusestation, ein Bühnenscanner-System und eine Reihe automatisierter Metrologiemodule. Die automatisierte Wafer-Gehäusestation umfasst ein Chargenladekarussell, das bis zu 66 8-Zoll-Wafer aufnehmen kann. Dadurch wird sichergestellt, dass das Gerät ohne ständigen manuellen Besuch eines Technikers reibungslos und effizient arbeiten kann. Die Bühnenscanner-Maschine ist die motorisierte Plattform, die Wafer bewegen und an das richtige Metrologiemodul liefern soll. Es besteht aus präzisen Schwalbenschwanzführungen für eine glatte Bewegung mit zwei Drehgebern für eine schnelle Fahrt in die definierten Positionen. Es kann auch Höhenunterschiede von bis zu 10 Mikrometer erkennen, was eine präzise Messung ermöglicht. Das Metrologiemodul ermöglicht eine schnelle und genaue Messung der kritischen Parameter eines Wafers, wie Dicke. Das Werkzeug verwendet ein Interferometer, um die Dicke in Einzel- oder Mehrwellenlängenmodi zu messen. Es verwendet auch spektroskopische Ellipsometrie, um Filmdicke, Oberflächenrauhigkeit und optische Konstanten zu messen. Weitere Funktionen sind die Bühnenkalibrierung und die Sichtunterstützung mit einer Digitalkamera. KLA 6100 ist ein wesentliches Werkzeug für Gerätehersteller, die ihre Waferausbeute verbessern und ihre Leistung maximieren möchten. Es ist eine schnelle, zuverlässige und genaue Ressource, die ein hohes Maß an Qualität und Präzision bei minimalem Aufwand gewährleistet. Mit seinen präzisen messtechnischen Fähigkeiten und dem automatisierten Wafer-Handling ist TENCOR 6100 ideal für eine Vielzahl von Waferbearbeitungsanwendungen.