Gebraucht KLA / TENCOR 6200 Surfscan #293739429 zu verkaufen
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ID: 293739429
Wafergröße: 8"
Particle inspection system, 8"
Maximum wafer capable, 8"
Pentium PC
Sensitivity:
Defect: 0.12µm
Defect map and Histogram
Haze map and Histogram
Argon Ion Laser
2D Signal integration
Parallel printer port
Blower box
SECS II Communication port
Windows OS
Operations manual and documentation.
KLA/TENCOR SFS 6200 ist eine Hochleistungs-Wafer-Prüf- und Messtechnik (Messtechnik) -Ausrüstung, die entwickelt wurde, um genaue und zuverlässige Messungen der Eigenschaften von Halbleiterwerkzeugen und Wafern bereitzustellen. Es nutzt fortschrittliche Bildgebungstechniken und extrem präzise Kraft-Platten-Technologie, um Wafer-Level und Geräte-Level-Features genau zu messen. Das System ist in der Lage, eine breite Palette von wesentlichen Eigenschaften zu messen, einschließlich Düsengröße und Form, Gleichmäßigkeit und Positionsgenauigkeit, gerätekritische Abmessungen, kerf Tiefe, sowie elektrische Eigenschaften wie Leckstrom und Widerstand. Die modernste Bildgebungstechnologie des Geräts wird durch fortschrittliche, proprietäre Algorithmen und Sensoren angetrieben, die äußerst genaue und zuverlässige Ergebnisse gewährleisten. Die bildgebenden Funktionen der Maschine bieten eine vollständige messtechnische Abdeckung von Wafern, so dass Kunden detaillierte Einblicke in Wafer-Level-Eigenschaften wie Kleben und Nähen, Mikrokontamination und die Ungleichförmigkeiten zwischen den Stempeln erhalten können. Darüber hinaus ermöglicht das Imaging-Asset des Tools die Prozessoptimierung durch den Einsatz schneller und einfacher Autofokus- und Autoshutter-Funktionen. Das Modell verfügt zudem über eine zuverlässige und robuste Kraft-Platten-Technologie, die mit drei Hochgeschwindigkeits-Kraftsensoren gerätekritische Eigenschaften wie gerätekritische Abmessungen (CD), Kantenglätte und Kerftiefe genau messen kann. So können Kunden Problembereiche im Wafer schnell erkennen und sofortige Korrekturmaßnahmen ergreifen. Die Geräte bieten auch schnelle Einrichtungs- und Umstellungsfunktionen, so dass Kunden Tests schnell und effizient durchführen können. Darüber hinaus bietet der Bordcomputer des Systems eine umfassende Kontrolle über alle Schritte des Messvorgangs, einschließlich des automatisierten Betriebs. Darüber hinaus gewährleistet die Einheit KLA SFS 6200 durch die einfache Integration in die KLA Eagle Quality Management Software ein hohes Maß an Qualitätssicherung. Diese Software bietet Kunden eine Echtzeit-Datenanalyse und eine einfache Prozesssteuerung für eine vollständige Steuerung auf Losebene. Alles in allem bietet TENCOR SFS6200 Maschine beispiellose Genauigkeit und Zuverlässigkeit bei der Prüfung und Messtechnik von Halbleiterwerkzeugen und Wafern. Dank der fortschrittlichen Bildgebungs- und Kraft-Platten-Technologien können Kunden schnell und einfach wesentliche Eigenschaften ihrer Wafer und Geräte für verbesserte Leistung, Effizienz und Qualitätssicherung messen.
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