Gebraucht KLA / TENCOR 6200 Surfscan #293824637 zu verkaufen

KLA/TENCOR SFS 6200 ist eine hochmoderne Wafer-Prüf- und Messtechnik für Produktionsumgebungen. Das System bietet hochgenaue Messungen mehrerer Wafereigenschaften für die Prozessüberwachung und -steuerung, einschließlich schneller, unabhängiger kritischer Abmessungen (CD), Form, Overlay, Ebenheit und Partikelmessungen. Das Gerät ist mit automatisierten Probenhandhabungs- und Messtechnikköpfen, fortschrittlichen Inspektions- und Messtechnik-Controllern und einem leistungsfähigen proprietären Softwarepaket ausgestattet. KLA SFS 6200 verwendet fortschrittliche Optik- und Bildgebungstechnologie, um Messungen mit Unterangström-Genauigkeit zu erzeugen. Sein proprietäres modernes optisches Mehrstrahl-Interferometer (MBI) und der schnell abtastende Laserkopf (FSL) bieten kompromisslose Genauigkeit und Durchsatz. Die Maschine verfügt über eine Reihe von modularen Komponenten, um präzise Messungen von Ebenheit, Überlagerung und Partikeleigenschaften zu ermöglichen. Die integrierte helle Feld- und Dunkelfeldoptik sorgt für überlegene Details bei kleinen Partikeln, während die integrierte automatische Partikelanalyse die Messzeit reduziert. TENCOR SFS6200 ist hochautomatisiert und konfigurierbar und unterstützt sowohl Einzel- als auch Mehrfachmessungen. Der integrierte RMMA (Repeatability Mode Machinistic Approach) bietet ultraschnelle Messungen mit wiederholbarer und zuverlässiger Genauigkeit. Das Tool ist auch mit hochauflösenden Berichtsgenerierungs- und Verfolgungsfunktionen ausgestattet und bietet detaillierte Echtzeitanalysen für die Prozessüberwachung. Neben seinen Leistungsmerkmalen verfügt KLA/TENCOR SFS6200 auch über eine fortschrittliche Architektur, mit der es schnell und effektiv installiert werden kann. Die Anlage ist sowohl für den Betrieb unter Standard- als auch unter extremen Umweltbedingungen konzipiert, und ihre ausgeklügelten Sicherheitsmerkmale minimieren das Risiko von Bedienungs- und Modellfehlern. Das Gerät ist auch für maximale Zuverlässigkeit ausgelegt, mit integrierter Kalibrierung und Selbstdiagnose, die die Leistung im Laufe der Zeit aufrechterhalten. Insgesamt ist SFS6200 ein fortschrittliches Wafer-Test- und Messtechnik-System, das Anwendern branchenführende Leistung und Zuverlässigkeit bietet. Die Kombination aus hohen Genauigkeitsmessungen, Wiederholbarkeit und automatisiertem Betrieb ermöglicht es, ein leistungsstarkes Werkzeug für die Prozessüberwachung und -steuerung zu sein.