Gebraucht KLA / TENCOR 6200 Surfscan #9303158 zu verkaufen
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ID: 9303158
Wafergröße: 4"-8"
Weinlese: 1995
Non-pattern surface inspection system, 4"-8"
PSL Calibration
Defect sensitivity: 0.1 Micron (PSL STD)
Haze sensitivity: 0.02 PPM
Haze resolution: 0.002 PPM
Accuracy within 1%
XY Coordinates
Lock down accessories
Blower assembly
Ar-Laser: 30mW
Power supply: 208V, 60Hz, 17A
1995 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 6200 Surfscan ist eine anspruchsvolle Wafer-Prüf- und Messtechnik, die für eine Vielzahl von Forschungs- und Produktionsanwendungen entwickelt wurde. Es bietet beispiellose Genauigkeit und wiederholbare Ergebnisse, mit denen Benutzer die Größe, Form und Tiefe von KEs auf der Oberfläche eines Wafers mit beispielloser Präzision messen können. Das System nutzt ein innovatives Dual-Strahl-Laser-Interferometer, um elektrooptische Messungen mit Nanometer-Auflösung bereitzustellen. Es ist in der Lage, Funktionen wie Gruben, Höcker, Kratzer, Korrosion, Schritte, Grate und andere Unregelmäßigkeiten im Detail auf Nanometerebene zu messen. Das Gerät bietet eine automatische Pass/Fail-Auswertefähigkeit, die die Tiefe, Größe und Form von KEs auf der Oberfläche eines Wafers innerhalb von Millisekunden bestimmt und effiziente Workflow- und zeitsparende Ergebnisse ermöglicht. KLA 6200 Surfscan ist für den Hochgeschwindigkeitsbetrieb konzipiert und kann in Sekundenschnelle vollständig Wafer scannen. Es ist mit einer breiten Palette von Hard- und Software-Tools ausgestattet, die es Anwendern ermöglichen, ihre Daten schnell zu analysieren. Die Maschine umfasst einen Host-PC, ein VME-basiertes Controller-Board und eine Surfscan 5200 temperaturgesteuerte Wafer-Inspektionskammer. Es enthält auch fortschrittliche Bildgebungs- und Analysealgorithmen, die präzise Ergebnisse mit minimaler manueller Eingabe liefern. TENCOR 6200 Surfscan verfügt zudem über eine automatische Scan-Funktion, die es ermöglicht, große Bereiche schnell zu scannen. Es bietet auch eine breite Palette von Bild- und Datenanalysefunktionen, die es Anwendern erleichtern, Informationen in Echtzeit zu überprüfen und zu analysieren. Das Tool ist kompatibel mit vielen branchenüblichen CAD-Systemen und Messtechnik-Softwarepaketen, die eine einfache Integration von Daten und Ergebnissen in bestehende Produkte und Dienstleistungen ermöglichen. PROMETRIX 6200 Surfscan gilt heute als eines der führenden Wafer-Prüf- und Messtechnik-Systeme auf dem Markt. Seine Kombination aus Geschwindigkeit, Genauigkeit und Wiederholbarkeit machen es zu einem idealen Vorteil für eine Vielzahl von Forschungs- und Produktionsanwendungen. Mit seinen fortschrittlichen Hardware- und Softwarefunktionen ist es in der Lage, präzise und zuverlässige Ergebnisse mit minimaler manueller Eingabe zu liefern. Dies macht 6200 Surfscan eine erste Wahl für Wafer-Inspektionen.
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