Gebraucht KLA / TENCOR 6200 #293610590 zu verkaufen
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KLA/TENCOR 6200 ist eine fortschrittliche Wafer-Prüf- und Messtechnik für die Halbleiterindustrie. Es bietet automatisierte Messungen kritischer Abmessungen und optische Inspektion mit beispielloser Genauigkeit und Wiederholbarkeit. KLA 6200 nutzt fortschrittliche optische Technologie, einschließlich eines hochpräzisen interferometrischen Mikroskops mit einem vollautomatischen XYZ-Linearantrieb. Dieses Laufwerk ermöglicht präzise Messungen von Koordinaten, KE-Höhen, Overlay und kritischen Bemaßungen. Das System umfasst auch eine Hochleistungs-Laserlichtquelle und hochauflösende vertikale und laterale Abtastung. Diese Kombination von Merkmalen ermöglicht extrem präzise Messungen und quantitative Analyse von Halbleiterstrukturen. TENCOR 6200 ist auch mit einem fortschrittlichen Intelligenzpaket ausgestattet, das eine automatisierte Fehlererkennung und -klassifizierung bietet. Diese leistungsstarke Technologie kann Asymmetrie, unregelmäßige Geometrie, übermäßige Höhe und andere häufig aufgetretene Fehler genau identifizieren. 6200 verfügt auch über eine Reihe von Wafer-Testfunktionen. Es bietet eine Reihe von automatisierten Testverfahren, einschließlich on-line 4-Punkt-Sonde, CDC (Chip-abhängige Charakterisierung), und SOT (Scan-on-Test). Das Gerät bietet schnelle und präzise Messungen der Geräteeigenschaften mit der höchsten Wiederholbarkeit und Empfindlichkeit. Darüber hinaus bietet KLA/TENCOR 6200 erweiterte Wafer-Inspektionsmöglichkeiten. Es bietet eine automatisierte Charakterisierung von Halbleiterdefekten, einschließlich der Überprüfung von Die-by-Die-Defekt mit Fehlerklassifizierung, Erkennung mikroskopischer Defekte, Analyse der Musterregistrierung und automatisierter Flachfeldfokus. In Summe ist KLA 6200 eine fortschrittliche Maschine für Halbleitermesstechnik und Wafertests. Es bietet erweiterte optische Technologie und automatisierte Intelligenz, einschließlich Präzisionsmessungen, automatisierte Fehlererkennung und eine Reihe von Wafer-Testfunktionen. Das Tool bietet Halbleiterherstellern eine zuverlässige, kostengünstige Lösung zur Qualitätssicherung und Prozesskontrolle.
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