Gebraucht KLA / TENCOR 6200 #293656105 zu verkaufen

KLA/TENCOR 6200 ist eine hochmoderne Wafer-Prüf- und Metrologie-Ausrüstung, die hochpräzise, zerstörungsfreie 3D-Mapping-Funktionen bietet. Sein fortschrittlicher optischer Zweistufensensor verfügt über kalibrierunabhängige optische Systeme mit einem minimalen Pixelabstand von 0,3 µm und ist damit ideal für die quantitative Identifizierung extrem kleiner Merkmalsgrößen, wie sie in Halbleiterscheiben vorkommen. Die integrierte zweistufige Beleuchtungseinheit und der NIR-Sensor ermöglichen die Erfassung mehrerer Datenschichten in einer einzigen Messung. Für Qualitätskontrolle und Prozessoptimierung bietet KLA 6200 schnelle, genaue zerstörungsfreie, berührungslose 3D-Messfähigkeiten. Diese Maschine ist in der Lage, jedes Merkmal auf der Oberfläche eines Wafers mit bis zu 16 Detailebenen zu messen und liefert schnelle und genaue Ergebnisse. TENCOR 6200 bietet auch automatisierte Oberflächenreinigung und Trockenscannen, während automatisierte Bildverarbeitungsfunktionen den Inspektionsprozess weiter optimieren und den manuellen Eingriff reduzieren. Alle erhobenen Daten werden für die zukünftige Nutzung gespeichert und ermöglichen einen schnellen Rückruf verarbeiteter und nicht verarbeiteter Daten. Darüber hinaus verfügt 6200 über eine exakte laterale Auflösung von 0,5 µm und eine maximale Höhenempfindlichkeit von 70 nm. Dies ermöglicht die Messung dickerer Substrate bis einschließlich 3mm bei einer Genauigkeit von 5nm oder besser. Der große Dynamikbereich reicht von 0,005 bis 1000 µm und eignet sich daher hervorragend für die Analyse komplexer Oberflächenformen und Konturen. Die benutzerfreundliche grafische Benutzeroberfläche (GUI) von KLA/TENCOR 6200 macht es einfach, selbst die komplexesten Waferinspektionsprotokolle einzurichten, zu erlernen und auszuführen. Die integrierten Analysetools dieses Tools ermöglichen die Mustererkennung, Fehlerverfolgung und Sondierung von Datenpunkten und sind somit eine ideale Wahl für Tests auf Waferebene und Messtechnik. Zusammenfassend ist KLA 6200 ein leistungsfähiges und vielseitiges Wafer-Test- und Messtechnik-Asset, das schnelle, genaue zerstörungsfreie 3D-Messfunktionen bietet. Dank der automatisierten Oberflächenreinigung und Trockenscannung, der präzisen Seitenauflösung und der großen Dynamik eignet es sich hervorragend für die Analyse komplexer Oberflächenformen und Konturen. Darüber hinaus vereinfacht die benutzerfreundliche Benutzeroberfläche die Einrichtung und Bedienung dieses Modells und ist somit eine ideale Wahl für Wafer-Level-Tests und Messtechnik.