Gebraucht KLA / TENCOR 6200 #64476 zu verkaufen

KLA/TENCOR 6200 ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die eine schnelle Prozessüberwachung und schnelle Datenanalyse ermöglicht. KLA 6200 ist ein automatisiertes System, das die Oberflächen- und Dickeneigenschaften von Wafern messen, große Datenmengen verarbeiten, Anomalien identifizieren und mehrere Proben sortieren und verfolgen kann. Das Gerät verfügt über eine Wafer-Stützplattform, die Kassette und den Lader, wo die Wafer be- und entladen werden. TENCOR 6200 ist mit einer Reihe von messtechnischen Werkzeugen ausgestattet, darunter Weißlicht-Interferometer (SLIM), Streuung, optische Reflektometrie, Streuphotometrie und 3D-Oberflächenprofiler. Der SLIM arbeitet mit einer atmosphärischen Druckbeaufschlagung, um das Risiko einer Kontamination durch die Atmosphäre auf der Waferoberfläche zu reduzieren. Zusätzlich können 6200 sowohl kontaktlose als auch kontaktlose Messtechnik durchführen. Für die Datenanalyse und Statusüberwachung ist die KLA/TENCOR 6200 in die Software KLA ǀWafers integriert. Die SoftwareWafers ist eine Suite integrierter Softwareanwendungen zur Aufbereitung, Analyse und Meldung von Wafer-Inspektionsdaten. Es bietet eine umfassende Reihe von Funktionen, einschließlich der Fähigkeit, automatische statistische Analyse von Prozesswafern durchzuführen, sowie Echtzeit-Prozessüberwachung. Durch die Erstellung von Reports und Datenplots können kritische Prozessmetriken sowie Trends in Prozessvariationen und Anomalien erfasst werden. In Bezug auf den Durchsatz kann KLA 6200 bis zu 300 Stück pro Stunde testen. Es kann auch einfach in eine Vielzahl anderer Systeme integriert werden, sowohl in-line als auch offline. Darüber hinaus kann es so konfiguriert werden, dass es den Anforderungen verschiedener Anwendungen gerecht wird, einschließlich der Prüfung von Wafern mit hohem Seitenverhältnis. Zusammenfassend ist TENCOR 6200 eine hocheffiziente Wafer-Prüf- und Messtechnik-Maschine, die schnelle Prozessüberwachung, schnelle Datenanalyse und umfassende Berichte bereitstellen kann. Seine breite Palette von Funktionen macht es für eine Vielzahl von Anwendungen geeignet und sein hoher Durchsatz ermöglicht es, große Datenmengen schnell zu verarbeiten. Schließlich ist das Tool in die Software von CliWafers integriert, die eine automatisierte statistische Analyse, eine Echtzeit-Prozessüberwachung und eine umfassende Datenanalyse gewährleistet.