Gebraucht KLA / TENCOR 6210 Surfscan #9412434 zu verkaufen

KLA/TENCOR 6210 Surfscan-Maschine ist eine High-End-Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die in der Halbleiterindustrie verwendet wird. Das System ermöglicht die genaue Messung kritischer Prozessdetails auf Wafern wie der Gleichmäßigkeit von Oberflächen und geometrischen Parametern im Mikronenbereich. Es ist in der Lage, genaue Daten über diese Parameter auch in den sehr frühen Phasen der Geräteherstellung zu erfassen, um Prozessgeschwindigkeit und -treue zu gewährleisten. KLA 6210 Surfscan verwendet hochauflösende triangulationsbasierte optische Messtechnik, um sowohl Wafer- als auch Innendüseneigenschaften mit großer Genauigkeit zu messen. Diese Einheit ist für berührungslosen, hohen Durchsatz, wiederholbaren und zuverlässigen Betrieb ausgelegt. Die Genauigkeit der von der Maschine erzeugten Messwerte wird durch die seitliche Abtastfähigkeit der Maschine sowie Hochleistungskameras, Optik und Beleuchtungssysteme gewährleistet. Darüber hinaus bietet die Maschine die Flexibilität, eine Vielzahl von messtechnischen Messungen ohne Benutzereingriff einfach durchzuführen. Um höchste Genauigkeitsmessungen zu gewährleisten, ist TENCOR 6210 Surfscan mit einem Laser-Interferometrie-Werkzeug ausgelegt. Diese Anlage ist in der Lage, sehr kleine Veränderungen in der Oberfläche des Wafers bis zu 0,1 Nanometer zu messen. Die Abtastgeschwindigkeit ist ebenfalls einstellbar und kann von 0,25 bis 7 mm/s unter Beibehaltung einer ausgezeichneten Genauigkeit variieren. Dies macht es bequemer, schnell bewegte Waferoberflächen zu messen. Die vom Modell erhobenen Daten werden zur Charakterisierung und Optimierung verschiedener Halbleiterprozesse sowie zur automatisierten Fehlerklassifizierung verwendet. Die Auslesungen aus dem Gerät ermöglichen auch eine Fehleranalyse, die zur Verbesserung des Prozessflusses und zur Kostenreduzierung beiträgt. 6210 Surfscan ist auch für die einfache Konnektivität konzipiert, so dass die Integration mit anderen Systemen für eine einfache Manipulation der Daten. Die Maschine verfügt zudem über eine benutzerfreundliche Softwareschnittstelle, die einen intuitiven Workflow bietet. Abschließend ist KLA/TENCOR 6210 Surfscan Wafer Testing and Metrology System ein leistungsfähiges Werkzeug, das genaue und zuverlässige Messungen von Waferoberflächen auch in den frühen Phasen der Geräteherstellung ermöglicht. Die Maschine enthält auch eine Laser-Interferometrie-Einheit, die eine genaue Messung sehr kleiner Veränderungen in der Oberfläche des Wafers ermöglicht. Darüber hinaus erleichtern die einfache Konnektivität und die benutzerfreundliche Softwareschnittstelle die Integration in andere Systeme und die Nutzung der gesammelten Daten.