Gebraucht KLA / TENCOR 6220 Surfscan #139951 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 139951
Wafergröße: 4" - 8"
Weinlese: 1996
Inspection system, 4" - 8"
Specifications:
Sensitivity:
0.09 ㎛ at > 80% Capture rate
( latex spheres on bare silicon )
Throughput: 100 wph ( 200mm wafers ) at 0.12㎛
Repeatability: Within 0.5% δ ( Mean count >500, 0.364㎛ diameter latex spheres
Illumination:
Source: 30mW Argon-Ion Laser, 488nm
Sample Sizes : 100mm to 200mm ( smaller sizes upon request ) round or square samples
Configuration:
Wafer Size: 100mm ~ 200 mm
Power: 208V, 17A, 1Phase,60Hz
Main Frame:
CRT Monitor
Keypad
Mouse
FDD
Cassette plate
System Controller Card Cadge
. Slot 1 Video Card
. Slot 2 N/A
. Slot 3 CPU Board
. Slot 4 Timing Generator Board
. Slot 5 Haze Separator Board
. Slot 6 Particle Area Processor Board
. Slot 7 N/A
. Slot 8 GPIO Board
. Slot 9 Motor Controller Board
. Slot 10 SECS Board
. Slot 11 Ethernet Card
. Slot 12 N/A
. Slot 13 N/A
HDD ( -2-EA )
Laser Power Supply
Uniphase Laser ( 2214-30SLT )
Mainn Cucirt Breaker
Cassette Plate
Currently stored in a warehouse
1996 vintage.
KLA/TENCOR 6220 Surfscan ist eine automatisierte Wafertest- und Messtechnik-Ausrüstung, die eine schnellere und zuverlässigere Verarbeitung von Halbleiterscheiben ermöglicht. Es hat die Fähigkeit, einen großen Bereich von Waferparametern zu messen, einschließlich Oberflächen- und Suboberflächenfilmdicke, Ebenheit, Oberflächenstruktur, Peak-to-Valley, Oberflächenreflektivität und das Vorhandensein von Unvollkommenheiten. Das System bietet die Möglichkeit, bis zu 20 Wafer pro Stunde mit dreidimensionalen, niederkraftarmen Lichtmessköpfen zu messen. Die Surfscan-Einheit KLA 6220 ist mit einem langlebigen, korrosionsbeständigen Gehäuse ausgestattet, das für die zuverlässige Handhabung anspruchsvollster Messungen ausgelegt ist. Der Aufbau der Maschine ist modular aufgebaut und bietet die Flexibilität, sie an die Bedürfnisse des Benutzers anzupassen. Es verfügt auch über fortschrittliche Hardware- und Softwarekomponenten, um hochpräzise Messungen zu gewährleisten. Das Werkzeug arbeitet durch die optischen Prinzipien der kurzen Tonhöheninterferenz, wo vakuumerzeugte Interferenzen von Laserstrahlen die unterirdischen Schichten des Wafers sondieren, bevor sie zur Analyse zum Photodetektor zurückreflektieren. Dadurch wird nicht nur die Oberflächen- und Unterflächendicke mit einer Genauigkeit von bis zu 5 nm gemessen, sondern auch auf Defekte, auch unterhalb der Oberfläche des Wafers, überprüft. Die grafische Benutzeroberfläche (GUI) des Asset ist intuitiv und bietet Anwendern eine Reihe von Metriken aus Echtzeitmessungen. Diese Informationen können dann als Feedback verwendet werden, um fundierte Entscheidungen über die Parametereinstellungen und die Leistung des Wafer-Herstellungsprozesses zu treffen. TENCOR 6220 Surfscan ist ein automatisiertes, robustes Wafertest- und Metrologiemodell, das sich für eine Reihe von Produktionsumgebungen eignet. Es wurde entwickelt, um die Prozesszeit zu reduzieren und die Produktqualität zu verbessern, indem es eine schnellere, zuverlässigere und genauere Prüfung mehrerer Wafer gleichzeitig bietet. Als solche ist es eine ideale Lösung für diejenigen, die eine effiziente, zuverlässige und kostengünstige Wafer-Testlösung suchen.
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