Gebraucht KLA / TENCOR 6220 Surfscan #158592 zu verkaufen

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ID: 158592
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1996
Non-patterned wafer inspection system, 8" Can accommodate wafers from diameter, 2"-8" Sensitivity-particle: 117 Micro-meter diameter Latex spheres with >90% capture rate Haze: 1 ppm Minimum Cassette to cassette handling Defect sensitivity: 0.09 um dia PSL Sphere equivalent with greater than 80% capture rate Haze: Sensitivity: 0.02 ppm Minimum Resolution: 0.002 ppm Repeatability: Count repeatability error less than 0.5 percent at 1 standard deviation Throughput: 100 WPH (200 mm) at 0.12 um Contamination: Less than 0.005 particles/cm² greater than 0.15 mm dia per single pass Illumination source: 30mW Cassette handling: Single puck wafer handling from two cassettes (One sender / Receiver, one receiver) Electrical requirements: 200-240V, 50/60 Hz, 2 kVA 1996 vintage.
KLA/TENCOR 6220 Surfscan ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik der nächsten Generation, die entwickelt wurde, um die erhöhten Anforderungen der Halbleiterindustrie an eine genaue, zuverlässige und wiederholbare Messtechnik zu unterstützen. Das schlanke Design von KLA 6220 Surfscan ermöglicht ein großes Wafer-Handling und einen hohen Durchsatz, während eine Reduzierung der Anzahl der erforderlichen Teile, Komponenten und Dienstleistungen das ultimative Ziel der Kostensenkung und Effizienzsteigerung unterstützt. Ausgestattet mit einem zweiachsigen optischen System und einer ultrapräzisen Bewegungsstufe bietet TENCOR 6220 Surfscan eine dynamische Live-Abbildung von Waferoberflächen mit einer hohen Raumauflösung. Das Gerät verfügt über eine intuitive, anpassbare Touch-Benutzeroberfläche sowie eine umfassende Bibliothek mit automatisierten Analysealgorithmen, um sicherzustellen, dass die Messergebnisse genau und wiederholbar sind. Um verschiedenen Anforderungen gerecht zu werden, kann 6220 Surfscan eine Vielzahl von Test-, Messtechnik und bildgebenden Aufgaben mit einer hohen Genauigkeit und Präzision bewältigen. Die Messtechnik-Maschine kann mehrere Schichten oder verschiedene Materialien mit einem einzigen Scan messen und 3D-Informationen auf der Waferoberfläche mit Hilfe der erweiterten Fourier-Transformations-Profilometrie (FT-PROF) sammeln. Darüber hinaus verfügt KLA/TENCOR 6220 Surfscan über ein integriertes Kalibrierwerkzeug sowie eine umfassende Palette von messtechnischen Werkzeugen zur umfassenden Charakterisierung und Analyse nahezu jeder Oberfläche des Wafers mit hoher Genauigkeit. KLA 6220 Surfscan wurde entwickelt, um die erforderliche Leistung zur Charakterisierung und Messung komplexer Oberflächen, Halbleiterbauelemente und anderer mikroelektronischer Bauelemente zu bieten. Die Anlage umfasst ein Wafer-Lademodul sowie eine hochpräzise Bewegungsstufe, die ein präzises und wiederholbares Scannen von Waferoberflächen ermöglicht. Das Softwarepaket bietet erweiterte Bildaufnahme-, Bildverarbeitungs- und Analysefunktionen und unterstützt eine Vielzahl von Anwendungen, wie die Charakterisierung von Komponenten und Geräten, die Fehleranalyse und die Auflösung von Funktionen. Das Modell ist in der Lage, mehrere Schichten oder verschiedene Materialien in einem einzigen Scan genau zu messen und erweiterte bildgebende Aufgaben wie die Erkennung und Analyse von Funktionen durchzuführen, um die zeitaufwändige manuelle Inspektion zu reduzieren und die Produktivität zu maximieren. Zusammenfassend ist TENCOR 6220 Surfscan eine leistungsstarke und vielseitige Wafer-Prüf- und Messtechnik, die außergewöhnliche Leistung bietet, um die Eigenschaften von mikroelektronischen Komponenten und Oberflächen in einem einzigen Scan genau und zuverlässig zu messen. Die intuitive Benutzeroberfläche und die präzise Bewegungsstufe von 6220 Surfscan bieten einen hohen Durchsatz und Flexibilität, während die fortschrittlichen bildgebenden und analytischen Funktionen zuverlässige, wiederholbare und genaue Ergebnisse gewährleisten.
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