Gebraucht KLA / TENCOR 6220 Surfscan #188564 zu verkaufen
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ID: 188564
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1995
Non-patterned Wafer Inspection System, 8"
Load port type: dual open cassette
Chuck: 6"-8", can be converted to 5"
Environmental requirements
Vacuum: 508 mmHg
Ducted Venting: (2) 102 mm exhaust hose
Environment: Class 10 or better
200-240 V, 50/60 Hz, 2 kVA.
KLA/TENCOR 6220 Surfscan Wafer Testing and Metrology Equipment ist ein hochentwickeltes und anspruchsvolles Werkzeug, das speziell entwickelt wurde, um die Topographie von Wafern und anderen Geräten zu messen und zu überprüfen. Es verwendet Interferometrie, um die Höhe einer Oberfläche mit extrem hoher Genauigkeit und Präzision zu messen. Es kann für eine Vielzahl von Anwendungen eingesetzt werden, einschließlich der Charakterisierung von Oberflächen auf Halbleiterbauelementen und Wafern, der Erkundung neuer Materialien sowie der Validierung von Anweisungen und des Vergleichs von Fertigungsprozessen. KLA 6220 Surfscan-System ist in der Lage, extrem kleine Merkmale mit hoher Präzision und Genauigkeit zu messen. Es verwendet ein neigungskorrigiertes Interferometer und einen digitalen Autokollimator, um ein Interferenzmuster der abgetasteten Oberfläche zu erzeugen, das dann verwendet wird, um die genauen Höhen genau zu messen. Es weist vier neigungskompensierte Messkonfigurationen auf, um Variationen in der Topographie der Probenoberfläche zu berücksichtigen. Das Gerät ist mit Hochgeschwindigkeits-Scanfähigkeit ausgestattet und kann Proben an 12.000 Datenquerschnittspunkten pro Sekunde entnehmen, was wesentlich ist, um knackige und genaue Messergebnisse zu gewährleisten. Diese Maschine kann auch verwendet werden, um verschiedene Arten von Merkmalen und Oberflächen zu analysieren, wie leitende Folien, Beschichtungen, Verschleißmerkmale, Verschleißoberflächenprofile und Dickenunterschiede. Darüber hinaus ist das Werkzeug in der Lage zu messen; sub-10nm Feature-Größen, Pitch-Bewegung, seine berührungslose Messung und Umgebungssicherheit gegen Temperatur, Vibrationen und Luftdruck. Es verfügt auch über einen Autofokus-Assistenten, der den Fokus des Elements automatisch für jede gegebene Oberfläche anpassen kann und sogar das Vorhandensein von Verunreinigungen auf der Probenoberfläche erkennen kann. TENCOR 6220 Surfscan hat auch eine einfach zu bedienende grafische Benutzeroberfläche, die hilft, das Modell zu navigieren und es Benutzern ermöglicht, ihre Messungen an ihre spezifischen Anforderungen anzupassen. Als zusätzlichen Bonus verfügt dieses Gerät über ein integriertes Wärmemanagementsystem, das interne Temperaturen aktiv überwacht und die Leistung des Geräts optimiert. Dies ist wichtig, da sie dafür sorgt, dass die Maschine präzise und zuverlässige Ergebnisse liefert. Insgesamt ist 6220 Surfscan ein leistungsstarkes und anspruchsvolles Wafer-Prüf- und Messtechnikwerkzeug, das sich perfekt für Anwendungen eignet, die zuverlässige und genaue Messungen von hochdetaillierten physikalischen Oberflächenprofilen erfordern. Von der Inspektion und Analyse von Waferoberflächen bis hin zur präzisen Messung von Verschleißmerkmalen und Folien ist diese Eigenschaft in der Lage, eine breite Palette komplexer und detaillierter Messungen mit Leichtigkeit durchzuführen.
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