Gebraucht KLA / TENCOR 6220 Surfscan #293602408 zu verkaufen

KLA/TENCOR 6220 Surfscan ist ein modernes Wafer-Prüf- und Messtechnikgerät. Es ist für eine Vielzahl von Anwendungen konzipiert, einschließlich Fehlerüberprüfung, Lithographie/Ätzüberwachung, Filmmessung und Überlagerungsprüfung. Das System ist mit den neuesten Bewegungs- und Bildgebungssystemen ausgestattet, die es ermöglichen, hohe Präzision und Genauigkeit zu erreichen. KLA 6220 Surfscan zeigt eine hohe Geschwindigkeit 6-Achsen-Scan-Plattform und ist für ultragenaue Oblatenstufenbewegungen kontrollierter Quad-level DSP. Sein Hochgeschwindigkeits-Scan und sein breites Spektrum an Bewegungsfunktionen bieten überlegene, stark wiederholbare Scans, die eine bessere Ertragsüberprüfung ermöglichen. Das Gerät verfügt über erweiterte KLA-Bildverarbeitungsfunktionen, einschließlich einer Auswahl an hochauflösenden Farbkameras mit jeweils einem eigenen Sichtfeld. Die Maschine ist in der Lage, bis zu 6 ″ 10mil Diepad mit einer Genauigkeit von 0,25 micron CD zu überprüfen und kann Fehlergröße und Formanomalien bis zu 2 Mikrometer erkennen. Das Tool unterstützt auch hochauflösende Laserstrahlablenkung und Scan-Line-Profilierung mit einer atemberaubenden 20 μ m Auflösung. Das Asset integriert Active Area Scans (AAS), um hochauflösende Ertragsdaten, doppelte Muster- und 3D-Fehlerinformationen aufzudecken und verfügt über erweiterte Funktionen für automatisierte optische Inspektion (AOI). Es beinhaltet auch Leading Edge Diffraction (LED), chemische Identifikation und Bildgebung, chemische Identifikation ohne Bildgebung (CIWI) sowie messtechnische Fähigkeiten für kritische CDs und kritische Merkmale von 3D-Barstrukturen. TENCOR 6220 Surfscan Modell ist modular und anwenderkonfigurierbar für Flexibilität und verbesserte Prozessgleichförmigkeit. Es verfügt über eine Vielzahl anpassbarer Hardware- und Softwareoptionen, wie Flachbildschirme, automatisierte Umweltkontrolle, SPC-Open-Architecture, kundenspezifische Lösungen und Datenanalyselösungen. 6220 Surfscan wurde entwickelt, um die Prozesssteuerung zu verbessern und eine Vielzahl von Halbleiterdimensionen, Defektebenen und Prozessparametern zu überprüfen. Es ist eine zuverlässige und kostengünstige Möglichkeit, die Chipqualität zu erhalten und die Lebenszyklen der Geräte zu verlängern.