Gebraucht KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9052288 zu verkaufen

KLA/TENCOR 6220 Surfscan ist ein automatisiertes, berührungsloses optisches Werkzeug für Wafertests und Messtechnik. Dieses Gerät kombiniert die bewährte optische Technologie des Vorgängers 6200 Surfscan mit fortschrittlichen Bildverarbeitungsalgorithmen zur hochpräzisen Messung der Oberflächentopographie. Dies umfasst die Messung von Oberflächenprofilparametern wie Oberflächenrauhigkeit, Schritt- und Spalthöhe sowie Schrägungswinkel. KLA 6220 Surfscan ist mit einem Laserprofiler, einer vierachsigen motorisierten Waferbühne und einem automatisierten Mikroskop ausgestattet, das von einer CCD-Kamera angetrieben wird. Wenn das System für die kritische Dimensionsmesstechnik verwendet wird, scannt der Profiler die Oberfläche des Wafers mit Laserlicht, um seine Kontur zu messen. Das Mikroskop und die motorisierte Bühne bewegen sich über den Wafer, um die 3D-Form des Wafers zu erfassen. Diese Daten werden dann verwendet, um die kritischen Abmessungen des Gerätes zu messen und etwaige Partikel- oder Topographiefehler auf seiner Oberfläche zu identifizieren. TENCOR 6220 Surfscan hat eine Reihe von Funktionen, die es zu einem unschätzbaren Werkzeug für Wafertests und Messtechnik machen. Es verfügt über einen automatisierten Prozess, der eine große Wafer- und Geräteanalyse gleichzeitig ermöglicht. Es verfügt über eine leistungsstarke Bildverarbeitungseinheit, die über einen anpassbaren Workflow für verschiedene Arten von Inspektionsaufgaben verfügt. Die Maschine verfügt auch über einen Drift-Scan-Algorithmus, der automatisch Schwingungen und Temperaturänderungen kompensiert, die die Genauigkeit der Messungen beeinflussen können. Das Tool kann für eine Vielzahl von Wafer-Test- und Messtechnik-Anwendungen wie Fehlererkennung und -analyse, Wafer Critical Dimension (WCD) -Messung und Wafer-Topographie-Messungen eingesetzt werden. 6220 Surfscan Asset kann Partikel von wenigen Nanometern bis zu mehreren Mikrometern Größe auf einer Vielzahl von Wafern und Wafermaterialien erkennen. Es ist ideal für die Messung der kritischen Abmessungen von MEMS und anderen nanoelektronischen Geräten. KLA/TENCOR 6220 Surfscan ist ein leistungsstarkes und vielseitiges Wafertest- und Metrologiemodell. Es kombiniert hochpräzise optische Messtechnik, fortschrittliche Bildverarbeitungsalgorithmen und einen automatisierten Prozess, um es zu einem idealen Werkzeug für eine Vielzahl von Wafer-Tests und messtechnischen Anwendungen zu machen. Es ist in der Lage, Oberflächenprofilparameter genau zu messen und Partikelfehler auf einer Vielzahl von Wafern und Materialtypen zu erkennen, was es zu einem unverzichtbaren Werkzeug für die Herstellung von nanoelektronischen Geräten macht.