Gebraucht KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9054310 zu verkaufen

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ID: 9054310
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1999
Surface analyzer, 8", 1999 vintage.
KLA/TENCOR 6220 Surfscan ist ein modernes Wafer-Prüf- und Messtechnikgerät für Halbleiterhersteller. Es nutzt fortschrittliche Bildgebungstechnologien, eine ausgeklügelte Entwicklung von Metrologie-Algorithmen und erweiterte Datenanalysefunktionen, um Wafer mit sehr hoher Auflösung genau zu messen und zu analysieren. Die automatisierten optischen Inspektions- und Messtechniken des Surfscan liefern hochpräzise Ergebnisse bei gleichzeitiger Erhöhung des Durchsatzes. Es verfügt über ein automatisiertes Sichtsystem sowie eine hochauflösende Kamera und zwei optische Abbildungsobjektive. Auf diese Weise kann der Surfscan eine detaillierte Ansicht jedes Wafers erhalten und seine Flächen-KEs messen. Das Gerät kann Defekte im Wafer erkennen, einschließlich Kratzer, Risse und andere Defekte. Es hat auch die Fähigkeit, Oberflächeneigenschaften wie Textur, Reflektivität, Oberflächenrauhigkeit, Kontur und andere KEs zu messen. Der Surfscan kann sogar eine 3D-Karte der Oberfläche des Wafers bereitstellen, um Anomalien und Defekte zu identifizieren, die sonst schwer zu finden wären. Die Maschine verfügt außerdem über ein Hochgeschwindigkeits-Bilddatenerfassungs- und -analysewerkzeug. Dadurch können Daten schnell und präzise erfasst und gemessen werden. Es kann auch große Datenmengen speichern und analysieren. Der Surfscan enthält auch ausgefeilte Metrologie-Algorithmen, die es ermöglichen, extrem kleine Defekte auf der Oberfläche der Wafer zu erkennen und zu identifizieren. Diese Algorithmen wurden entwickelt, um möglichst genaue Messwerte zu liefern. Schließlich enthält das Asset auch ein leistungsstarkes Datenanalysemodell. Dieses Gerät kann Daten aus früheren Scans analysieren, um ein Gesamtbild der Fehler des Wafers zu erhalten. Anhand dieser Daten können der genaue Ort und die Eigenschaften der Defekte sowie mögliche Ursachen ermittelt werden. KLA 6220 Surfscan ist ein ideales System für jeden Hersteller, der hochauflösende automatisierte optische Inspektions- und Messtechnikfunktionen benötigt. Es ist in der Lage, schnelle und genaue Ergebnisse zu liefern, und ermöglicht auch eine detaillierte Datenanalyse, die Herstellern helfen kann, die höchstmögliche Qualität Wafer zu produzieren.
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