Gebraucht KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9084445 zu verkaufen

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ID: 9084445
Weinlese: 1996
Inspection system Currently installed in cleanroom 1996 vintage.
KLA/TENCOR 6220 Surfscan ist eine leistungsstarke, anspruchsvolle Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung für die Herstellung von Halbleiterbauelementen. Es ist in der Lage, eine vollständige Palette von datenreichen Bildgebungs-, Inspektions- und Messtechnikfunktionen bereitzustellen. KLA 6220 Surfscan bietet eine vielseitige Kombination aus optischen, elektrischen und akustischen Inspektionsmöglichkeiten. Es unterstützt eine Vielzahl von Mustertypen in allen Produktionsstufen, vom Prototyp über die Produktion bis hin zum Post-Test. TENCOR 6220 Surfscan System ist für End-to-End-Prozesskontrolle, Vermeidung von Ertragsverlust durch Fehlererkennung und Qualitätsoptimierung konzipiert. Es verfügt über hohe Empfindlichkeit, genaue Positionierung und eine Vielzahl von Sondierungsfunktionen. Die integrierten bildgebenden Funktionen ermöglichen die vollständige visuelle Datenerfassung und genaue Erkennung unterschiedlichster Materialien auf Waferebene. Das Gerät ist in der Lage, Schichten so dünn wie 25nm zu inspizieren und wichtige Daten zur Steuerung des Prozesses bereitzustellen. 6220 Surfscan ist mit hochpräziser Hardware für Scannen und Messtechnik ausgestattet. Es verwendet eine Reihe automatisierter Werkzeuge, die für die Niedrigwinkellichterkennung sowie für die optische Mikroskopie für die Bildverarbeitung mit höherem Winkel optimiert sind. Darüber hinaus ist die Maschine in der Lage, die akustische Mikroskopie zu nutzen, um Materialien und Defekte auf dem Mikro- und Nanoskala zu analysieren. Das Tool bietet ultraschnelles Scannen und Wafer-Identifizierung für automatisierten Durchsatz, sowie eine breite Palette von Datenanalyse und Reporting-Funktionen. KLA/TENCOR 6220 Surfscan bietet auch eine umfassende Suite von manuellen und automatisierten Testfunktionen mit stark wiederholbaren Messungen und Fähigkeiten für Fehlerkorrektur- und Korrekturschemata. Seine flexible Architektur ermöglicht die Ergänzung von benutzerdefinierten Optionen, um spezifische Standort- und Prozessanforderungen zu erfüllen. KLA 6220 Surfscan ist für eine Vielzahl von Anwendungen und Umgebungsanforderungen konzipiert und kann in Fertigungsumgebungen integriert oder allein zur Klassifizierung von Wafern und Teilen betrieben werden. Es wurde speziell entwickelt, um genaue und zuverlässige Inspektionsergebnisse und Prozessoptimierung für Mikroelektronik und verwandte Industrien bereitzustellen. Das Asset unterstützt eine Reihe von 48 „-Wafergrößen (bis zu 8“) und ist so konfiguriert, dass es den Anforderungen kundenspezifischer Prozesse entspricht. Darüber hinaus wird das Modell durch erstklassigen technischen Support und Support-Services unterstützt.
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