Gebraucht KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9103712 zu verkaufen
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KLA/TENCOR 6220 Surfscan ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik, die für die genaue und genaue Fehlererkennung und -analyse auf einer Vielzahl von Substratmaterialien entwickelt wurde. Das System ist in der Lage, 200 mm, 300 mm und größere Durchmesser Wafer mit der Fähigkeit, eine Vielzahl von Waferkante und Topographie-Typen abzubilden. Das Gerät nutzt eine fortschrittliche Optik und einen kreisförmigen Scanpfad, um eine vollständige Palette von 2D-Oberflächenbildern mit 3D-Bildgebungsfähigkeit zu erzeugen. Die Maschine ist in der Lage, nicht sichtbare Defekte im Wafermaterial und in Mikrostrukturen zu erkennen, sodass Hersteller mögliche Probleme erkennen und Korrekturmaßnahmen einleiten können. Das Tool verwendet fortgeschrittene Bilderkennungs- und Analysealgorithmen, um Fehler genau zu erkennen und zu charakterisieren. Die Anlage ist mit einer Digitalkamera und einer ausgeklügelten Analysesoftware ausgestattet, die hochauflösende Bilder für eine detaillierte Fehlerinspektion und -analyse bereitstellt. KLA 6220 Surfscan ist mit fortschrittlichen Funktionen zur automatischen Fokussierung, Kantenerkennung und Objekterkennung ausgestattet und ermöglicht präzise und wiederholbare Messungen der Geräteregistrierung, -kontur, -überlagerung und kritischer Dimensionen. Das Modell ermöglicht eine einfache Überprüfung und umfassende Ergebnisberichterstattung und liefert dem Hersteller die Informationen, die er benötigt, um die erforderlichen Prozess- und Konstruktionsänderungen vorzunehmen, um den Ertrag zu maximieren. Die Ausrüstung ist in der Lage, einen sehr hohen Durchsatz zu erreichen, die Produktivität zu erhöhen und die Zykluszeiten zu reduzieren und gleichzeitig außergewöhnliche Leistung und Genauigkeit zu erzielen. Das System modelliert das gesamte Waferprofil und bietet dem Anwender eine Vielzahl von Funktionen, wie Profilierung in 1 - 20 GHz Frequenzbereichen, die eine unübertroffene Kombination aus Genauigkeit, Inspektionsgeschwindigkeit und Fehlerabdeckung bieten. TENCOR 6220 Surfscan ist eine leistungsstarke Wafer-Prüf- und Messtechnik-Einheit und integraler Bestandteil eines Herstellungsprozesses, der für den Erfolg der heutigen Halbleiterindustrie entscheidend ist. Es bietet Präzision, Geschwindigkeit und Genauigkeit, die keine andere Maschine anpassen kann und ist so konzipiert, dass sie den ständig steigenden Anforderungen des Halbleitermarktes gerecht wird.
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