Gebraucht KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9110913 zu verkaufen

KLA/TENCOR 6220 Surfscan ist eine hochmoderne Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die in der Halbleiterherstellungsindustrie eingesetzt wird. Die 6220 nutzt hochauflösende optische Mikroskopie und interferometrische Technologien, um Fehler auf der Oberfläche von Halbleiterscheiben zu erkennen, zu analysieren und auszuwerten. Es ist das neueste in der Surfscan-Familie bietet die modernsten Fehlererkennung und Klassifizierung Fähigkeiten, so dass es ein ideales Werkzeug für Prozessoptimierung und Qualitätskontrolle. Der 6220 verwendet ein hochempfindliches, präzises optisches Mikroskop, das eine hochauflösende Abbildung von Oberflächenmerkmalen auf dem Wafer ermöglicht. Zusätzlich wird die Wellenlängenabtastinterferometrie (WSI) zur Messung der Oberflächenhöhen und Gradienten eingebaut. Das integrierte System verwendet Multimode-Messtechnik, die simultane WSI, Vektor-Scan-Interferometrie (VSI) und Bildsubtraktionsanalyse bereitstellt. WSI erkennt die feinsten Oberflächentopographie-Merkmale, während VSI detailliertere 3D-Messungen der Topographie durchführt. Schließlich wertet das Bildsubtraktionsverfahren die verschiedenen Schichten auf dem Wafer aus und vergleicht nach dem Abscheiden jeder Schicht zwei Wafer. Die fortschrittliche Software der 6220 ermöglicht es Benutzern, zufällig verteilte Fehler genau zu lokalisieren und zu identifizieren, die Oberflächenrauhigkeit jedes Wafers zu bewerten und Defekte nach Branchenstandard-Profilen zu klassifizieren. Es unterstützt auch die Fähigkeit, den Erkennungs- und Klassifizierungsprozess zu automatisieren. Das Gerät ist in der Lage, eine breite Palette von Messauflösungen von 0,2 nm bis 20 nm, die extrem genaue und präzise Analyseergebnisse. Darüber hinaus verfügt die kompakte und modulare KLA 6220 über direkte Scan- und Bildgebungsfunktionen, die eine breite Palette von berührungslosen Sondenkonfigurationen und Messungen ermöglichen. Seine automatische, zweistufige Wafer-Übersetzungsmaschine sorgt für genaue Positionierung und Bühnensteuerung für hohe Wiederholbarkeit. Das Tool bietet außerdem einen erweiterten Dynamikbereich, eine längere Akkulaufzeit, eine größere Waferkapazität und eine verbesserte Wärmemanagementkapazität, die eine bessere Leistung und Genauigkeit ermöglicht. Insgesamt ist KLA 6220 Surfscan ein ideales Werkzeug für fortschrittliche Prozessoptimierung und Qualitätskontrolle. Es bietet erweiterte Fehlererkennungs- und Klassifizierungsfunktionen, die eine breite Palette von Messauflösungen unterstützen und präzise, genaue Ergebnisse bieten. Gepaart mit seiner kompakten Bauweise, Modularität und langen Akkulaufzeit ist der Surfscan 6220 eine ideale Wahl für die Herstellung und Forschung von Halbleiterbauelementen.