Gebraucht KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9115142 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9115142
Wafergröße: 4"-8"
Unpatterned surface inspection system, 4"-8"
SMIF
Substrates: 4"-8"
Automatic wafer handler
Sensitivity most surfaces: 0.20µm @ 95%
Polished surfaces: 0.10µm @ 95%
Capture rate: 0.12µm Defect sensitivity on bare silicon
Repeatability: < 1.0%
Standard deviation
Contamination:
Less than 0.005 particles
Greater than 0.15µm
Includes:
SP1/TBI: 4 Station, single open cassette, DFIMS
SP1/DLS: 4 Station, single open cassette, DFIMS
SP2 and SP2/XP: DFIM, 12"
Haze sensitivity: 0.02 ppm
Defect map and histogram with zoom
Illumination source: 30 mW
Argon-Ion laser
Wavelength: 488 nm
2D Signal integration
Spatial resolution: 50µm
Non-contaminating robotic handler
Random access sender / receiver unit.
KLA/TENCOR 6220 Surfscan ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung zur Qualitätssicherung in Halbleiterherstellungsprozessen. Mit seiner fortschrittlichen Technologie bietet der Surfscan Funktionen, um Prozesskontrolle und Produktqualität sicherzustellen. Das effiziente Surfscan-System ermöglicht schnelle zerstörungsfreie Tests und zeigt Ergebnisse in Echtzeit an, um eine bessere Prozesskontrolle zu gewährleisten. Das Gerät verfügt über eine konfigurierbare integrierte E-Strahl Messfähigkeit, die hohe Genauigkeit Form und kritische Abmessungen bietet, so dass Benutzer Prozesssteuerung zu validieren. Der Surfscan verfügt über eine intuitive grafische Benutzeroberfläche, mit der Benutzer Testaufträge schnell und einfach einrichten und für die zukünftige Verwendung speichern können. Die grafische Maschine ist hochgradig anpassbar und garantiert Anwendern maximale Anpassungsfähigkeit an ihre einzigartigen Prozesse. Der Surfscan bietet darüber hinaus eine hohe Durchsatzleistung, da sein leistungsfähiger Wafer-zu-Wafer-Durchsatz die manuelle Belastung reduziert. Das Werkzeug kann Wafer mit einem Durchmesser von bis zu acht Zoll und einer Dicke von bis zu zwei Mikrometern handhaben und ist auch mit der patentierten ultraglatten Inspektionstechnologie der KLA kompatibel. Darüber hinaus ist das Asset mit fortschrittlichen statistischen Prozesskontrollfunktionen ausgestattet, die es dem Benutzer ermöglichen, wichtige Prozessvariablen zu analysieren und potenzielle außer Kontrolle geratene Bedingungen zu erkennen, bevor signifikante Prozessprobleme auftreten. KLA 6220 Surfscan ist ein leistungsstarkes und zuverlässiges Modell, das eine hohe Genauigkeit, ausgezeichnete Flexibilität und Benutzerfreundlichkeit bietet. Mit seinen robusten und zuverlässigen Produkteigenschaften ist es eine ideale Lösung für die Qualitätssicherung in Halbleiterherstellungsprozessen.
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