Gebraucht KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9137178 zu verkaufen

KLA/TENCOR 6220 Surfscan ist ein Wafer-Prüf- und Messtechnik-Gerät zur zerstörungsfreien Fehlerinspektion und zur Charakterisierung der Oberflächentopographie. Es ist für 300 mm Wafer ausgelegt und kann mehrere Wafer parallel inspizieren. Das System kann sowohl extrem niedrige als auch extrem hohe Oberflächenhöhen messen. Es ist schnell, zuverlässig und präzise und ideal für Anwendungen zur Qualitätssicherung und Prozessentwicklung. Herzstück des Geräts ist die KLA-proprietäre BIB (Burst Illumination Brightfield) -Technologie. Dies verwendet ein Array von winzigen LEDs, um Lichtbursts zu emittieren, die in den Probenwafer eindringen, wenn nützliche Daten erforderlich sind. Die Intensität der Streuung kann dann an jeder Stelle der Waferoberfläche genau gemessen werden. Das Ergebnis ist eine unglaubliche Auflösung, die um ein Vielfaches größer ist als frühere Inspektionssysteme. Die 6220 Maschine ist mit zahlreichen weiteren Funktionen ausgestattet, um die Funktionalität zu verbessern. Es verfügt über zwei Digitalkameras, die visuelle Bilder von gescannten Wafern liefern. Es verfügt außerdem über eine zweiachsige Waferstufe, die den Wafer für komplexe Messungen in bis zu neun verschiedene Richtungen exakt positionieren kann. Viele Arten von automatisierten Routinen für verschiedene Messungen können im Tool programmiert und ausgeführt werden. Um schnelle Wafer-to-Wafer- und Die-to-Die-Vergleiche zu ermöglichen, unterstützt das Asset mehrere Bildanalyse-Algorithmen, wie BIS-Mapping, Partikeldichtemessungen und Sub-Pixel-Fehlerklassifizierung. Diese Bildanalyse-Algorithmen ermöglichen die automatische Messung oder den Vergleich von Daten von mehreren Stempelstellen in einer einzigen Messung. Insgesamt ist KLA 6220 Surfscan ein zuverlässiges und leistungsstarkes Wafertest- und Metrologiemodell, das sich für eine Vielzahl von Waferbearbeitungs- und messtechnischen Anwendungen wie Ausbeute und Prozessverbesserung eignet. Mit seiner großen Palette fortschrittlicher Funktionen ist es ein wesentliches Werkzeug für die Qualitätssicherung und Prozessentwicklung in der Halbleiterindustrie.