Gebraucht KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9149402 zu verkaufen

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ID: 9149402
Wafergröße: 6"
Wafer surface contamination analyzer, 6" Unpatterned wafer inspection Submicron sensitivity detects 0.10 micron particles 3-D views of individual defects Color coded defct maps Surface haze detection Argon 488 30mW laser Measurement range: 0.01-9999um Haze sensitivity: 0.02ppm Currently stored in cleanroom.
KLA/TENCOR 6220 Surfscan ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung zur hochauflösenden Oberflächenanalyse von Halbleiterscheiben. Mit einem Größenbereich von bis zu 200mm ist das System ein vielseitiges Werkzeug zum Testen, Charakterisieren und Verstehen der Struktur eines Halbleiterwafers. Im Kern verfügt KLA 6220 Surfscan über ein fortschrittliches automatisiertes Epifluoreszenzmikroskop, das eine hochauflösende optische Bildgebung für die Oberflächentopographie des Halbleiterwafers bietet. Es ist in der Lage, Eigenschaften unter Mikrometer mit einer Auflösung von besser als 1um zu messen. Darüber hinaus ist das Gerät mit einer zweidimensionalen orthogonalen Scanmaschine ausgestattet, die bei der genauen Messung und Charakterisierung von Oberflächenmerkmalen und Messtechnik hilft. Der 6220 besteht aus zwei Hauptkomponenten: der Optik und dem Controller. Die Optik ist die primäre Komponente, die es dem einzelnen ermöglicht, Bilder des Wafers zu erfassen. Es umfasst Komponenten wie das Epifluoreszenzmikroskop, Objekitve, Linsen, einen strahlteilenden Spiegel, Probenfokussierung und Fluoreszenzfilter. Die Optik ist in der Lage, Merkmale von unter einem Mikrometer bis über 10 Mikrometer zu messen und zu analysieren. Der Controller ist die sekundäre Komponente des Werkzeugs, die die Fähigkeiten des Mikroskops steuert. Es enthält Software zur Analyse und Charakterisierung von Waferfunktionen und ein Datenerfassungs-Subsystem. Die Software verfügt über erweiterte Bildverarbeitungsalgorithmen, die Oberflächenfunktionen mit Leichtigkeit identifizieren und analysieren können. Darüber hinaus bietet es eine Vielzahl von Steuerelementen wie Auto-Kontrast und Helligkeitseinstellungen, sowie manuelle Bild-Overlay-Funktionen. Darüber hinaus umfasst es auch ein umfassendes On-Board-Diagnoseprogramm. TENCOR 6220 Surfscan ist das ideale Werkzeug für diejenigen, die eine zuverlässige und genaue Oberflächenanalyse eines Halbleiterwafers benötigen. Es ermöglicht Benutzern, Funktionen auf einer granularen Ebene zu beobachten, zu messen und zu charakterisieren, mit der Unterstützung seiner schnellen und intuitiven Software. Letztendlich ermöglicht dieses Asset es Anwendern, die Struktur eines Halbleiterwafers schnell und genau zu untersuchen, was zu einer stärkeren Optimierung von Prozessen und Produkterträgen führt.
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