Gebraucht KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9160480 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9160480
Wafer surface analysis systems
System configuration:
Processor type: Pentium
Model number: SFS 6220
Laser type: Argon Ion
Sampling rate: Double
Analog board type: P/N 223670
Wafer handling: Standard
Indexer configuration: Left + Right
Maximum haze at gain: 50000 ppm
Gem version sampling board type: Gem 93
SMIF Type: No SMIF
SECS Type: SECS-I
Laser hours: 2184.
KLA/TENCOR 6220 Surfscan ist eine messtechnische Ausrüstung zur Messung der Topographie von Wafern für die Halbleiterindustrie. Es ist ein vollautomatisches Multi-Sensor-Wafer-Test- und Messtechnik-System, das mit mehreren Sensoren hochauflösende dreidimensionale (3D) Bilder der Oberflächenmorphologie eines Wafers erzeugt. Das Gerät verwendet ein hochauflösendes Streugerät, das kritische Kontaktwinkel misst, sowie zwei patentierte Abtastköpfe mit eingebettetem Laser und chromatischen Sensoren, die Bilder der Waferoberfläche mit bis zu 10 nm Auflösung in der Vertikalen und bis zu 5 nm in seitlicher Richtung erzeugen. Die Sensoren 6M und 10M haben eine aktive Scanlänge von bis zu 600 mm, während der 4M Sensor eine aktive Scanlänge von bis zu 400 mm aufweist. KLA 6220 Surfscan verfügt auch über Hochgeschwindigkeits-geräuscharme Elektronik, die es ermöglicht, qualitativ hochwertige Daten in nur 0,9 Sekunden zu erfassen. Die Maschine integriert eine intuitive Benutzeroberfläche, die eine umfassende Prozesssteuerung bietet und es Anwendern ermöglicht, komplexe Rezepte einfach einzurichten und zu überwachen. Es umfasst auch fortschrittliche Analysen und automatisierte Prozesskontrolle, die eine schnelle und genaue Diagnose von Defekten sowie automatisierte Aktionen zur Behebung und Verringerung von Defekten ermöglichen. Das Werkzeug ist in der Lage, sowohl die obere als auch die untere Oberfläche eines Wafers gleichzeitig zu analysieren, wodurch Benutzer eine detaillierte Ansicht der Oberflächentopographie erhalten. TENCOR 6220 Surfscan ist eine kostengünstige Lösung, die die Genauigkeit und Zuverlässigkeit bietet, die erforderlich ist, um die Anforderungen der Halbleiterindustrie zu erfüllen. Es bietet vielseitige, genaue und zuverlässige Wafer-Oberflächentests und Messtechnik in Produktions- und F & E-Umgebungen und ist ein unschätzbares Gut für alle fortschrittlichen Halbleiterherstellungs- und -entwicklungsoperationen.
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