Gebraucht KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9185202 zu verkaufen

KLA/TENCOR 6220 Surfscan ist eine Wafertest- und Messtechnik-Ausrüstung, die eine umfassende, automatisierte Oberflächenanalyse und Ertragsverbesserung ermöglicht. Es misst genau Oberflächenparameter wie Reflexion, Streuung, Spannung, Topographie und Kontamination. Mit einem 300mm-Modul und bis zu 7 Inspektionskanälen ist es ideal für verbesserte Erträge in einer Vielzahl von Halbleiterproduktionsanwendungen. Das System besteht aus einer Einstrahleinheit mit einer XY-Stufe, die die Probe sowohl in X- als auch in Y-Richtung bewegt, sowie einer Mehrstrahlmaschine mit einer XY-Stufe und einem planaren Scanner. Die Ein- und Mehrstrahl-Systeme können für eine Vielzahl von Anwendungen eingesetzt werden, von einfachen Waferoberflächeninspektionen bis hin zu komplexen Wafer-Back-End-Prozessverfolgungen. Das Mehrstrahl-Tool kann schnelle und genaue Daten über eine Reihe von Oberflächenparametern wie Reflexion, Streuung und Spannung liefern, während das Einzelstrahl-Asset eine detailliertere, auflösungserhöhte Abbildung der Oberflächenmikrotopographie bietet. Das Modell basiert auf bewährter Scanelektronik und -optik, kombiniert mit fortschrittlicher Signalverarbeitungssoftware. Die Signalverarbeitungssoftware ist leistungsstark und zuverlässig und ermöglicht die Sammlung von sehr detaillierten Oberflächeneigenschaften, eine genaue Bildanalyse und anspruchsvolle Datenvergleiche. Das Gerät bietet mehrere Strahllenk- und Beleuchtungssysteme, die zur genauen Analyse und Messung von Parametern wie Topographie, Streuung, Reflexion, Partikelverschmutzung und Beanspruchung verwendet werden können. Alle Strahllenkungsparameter sind vollständig einstellbar und können als zukünftige Referenz gespeichert werden. KLA 6220 Surfscan ist ein robustes und zuverlässiges System, das zur Steigerung der Prozesserträge und zur Verbesserung der Mustertreue beitragen kann. Mit seiner fortschrittlichen Signalverarbeitungssoftware, hoher Geschwindigkeit und Genauigkeit und hervorragenden bildgebenden Fähigkeiten ist es sicher, ein unverzichtbares Werkzeug in der Prozesskontrolle zu werden und Verbesserungen in der Halbleiterproduktion zu erzielen.