Gebraucht KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9189779 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9189779
Weinlese: 1999
Wafer inspection system
Cassette calibration: 100mm/150mm /200mm
Standard wafer size: 3.98Um / 1.11Um / 0.496Um / 0.204Um
1999 vintage.
KLA/TENCOR 6220 Surfscan ist eine hochmoderne Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung für die Inspektion von Halbleiterscheiben. Es kombiniert eine Reihe fortschrittlicher Inspektions-, Mess-, Bildgebungs- und Analysetechnologien, um Anwendern beispiellose Genauigkeit und Präzision bei der Inspektion von Wafern zu bieten. Das System besteht aus mehreren Kernkomponenten, darunter einer hochauflösenden CCD-Kameraanordnung, einer automatisierten Probenladeeinheit, einem Abbildungslaser, einem CCD-Gerät und einem automatisierten Messtechnikkopf. Jede dieser Komponenten wurde genau entwickelt und entworfen, um in Harmonie zu arbeiten, um Anwendern eine hervorragende Leistung zu bieten. Die CCD-Kameraanordnung verwendet ein Paar hochauflösende Kameras, um Bilder der Waferoberfläche mit extremer Detailtreue und Genauigkeit zu erfassen. Es kombiniert Präzisionsoptiken, fortschrittliche Software-Algorithmen und ein CCD-Gerät, um Bilder mit einer Auflösung von bis zu zwei Mikrometern zu erfassen. Die Bilder werden dann zur weiteren Verarbeitung auf einen Bordcomputer übertragen. Die automatisierte Probenlademaschine ermöglicht ein schnelles und zuverlässiges Be- und Entladen von Wafern. Das Werkzeug umfasst einen Sondenarm, der sich über die Kammer erstreckt, und eine Probenladeplatte, die bis zu zwei Wafer aufnimmt. Zur Hin- und Herbewegung des Sondenarms über die Kammer wird ein zweistufiger Aktuator verwendet und ein automatisierter Probenhalter zur präzisen und genauen Probenpositionierung. Mit dem bildgebenden Laser wird ein Pool hochauflösender Bilder der Waferoberfläche erzeugt. Es besteht aus einer LED-Quelle, einem Laserscanner und einer Platinenkamera und bietet eine unschlagbare Bildauflösung von bis zu 0,1 Mikrometern. Diese Bilder werden verwendet, um detaillierte Kontur- und Oberflächenkarten der Waferoberfläche zu erstellen und bieten beispiellose Genauigkeit in der Wafer-Prüfung und Messtechnik. Das CCD-Gerät wird verwendet, um die Parameter der Waferoberfläche an einem statischen Punkt zu messen, was eine sofortige Beurteilung des Waferoberflächenzustandes ermöglicht. Das CCD-Gerät ermöglicht es Benutzern, kleine Fehler, wie Kratzer, Gruben und andere Funktionen, die durch die Bildgebung allein schwer zu erkennen sein können, genau zu erkennen. Der automatisierte Messtechnik-Kopf bietet Anwendern eine automatisierte Möglichkeit, die Oberflächentopographie des Wafers zu messen, was eine sofortige Bewertung der Oberflächenmerkmale ermöglicht. Die Vorrichtung misst schnell und genau die Parameter der Waferoberfläche und ist in der Lage, Oberflächenunregelmäßigkeiten mit großer Genauigkeit zu erkennen. KLA 6220 Surfscan wafer testing and metrology asset ist ein leistungsfähiges Werkzeug zur Inspektion und Aufrechterhaltung der Qualität von Halbleiterscheiben. Es ist eine leistungsfähige Kombination aus Bildgebungs-, Messtechnik- und Analysetechnologien, die alle entwickelt und entwickelt wurden, um höchste Genauigkeit und Präzision in der Waferprüfung und Messtechnik zu bieten. Mit diesem Modell können Anwender sicherstellen, dass ihre Wafer ihren gewünschten Qualitäts- und Zuverlässigkeitsstandards entsprechen.
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