Gebraucht KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9195861 zu verkaufen

KLA/TENCOR 6220 Surfscan ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die die Leistung optischer und elektrischer Technologien kombiniert, um einen umfassenden und präzisen Ansatz für die Waferinspektion zu bieten. Das System wurde entwickelt, um Prozesse auf Wafern aller Größen von 200mm bis 450mm Durchmesser zu überwachen. Das Gerät ist in der Lage, eine breite Palette von Wafermaterialien zu inspizieren, darunter Halbleiter, Galliumarsenid und mikro-elektromechanische Systeme (MEMS). Der Surfscan wurde entwickelt, um laborgenaue Präzision mit Echtzeitauflösung und automatisierter Messung zu bieten. Es nutzt multispektrale Bildgebung im Bereich 420-1000nm, gekoppelt mit einem dual-optischen Kopf (optisches Profilometer und Mikroskoppaar) zur Messung der Wafertopographie. Die Maschine ist auch mit spezialisierter Software für automatisierte Schritthöhenmessung, CD-Messung (kritische Abmessungen), Topographie-Charakterisierung und Linienkantenmessung ausgestattet. Der Surfscan verfügt über einen automatisierten schwellwertbasierten Formsortierungsprozess zur detaillierten Fehleruntersuchung, der Partikel, Defekte und andere Unregelmäßigkeiten erkennen kann. Sie kann neben optischen Diskontinuitäten auch elektrische Diskontinuitäten erkennen. Das Tool verfügt auch über eine Bibliothek mit vordefinierten Fehlertypen, so dass Benutzer Fehlertypen schnell identifizieren und dann automatisierte Korrekturmaßnahmen anwenden können. Das Asset ist auch mit einer flexiblen Fehlerklassifizierung ausgestattet, die auf kundenspezifische Szenarien und Bibliothekseinstellungen angewendet werden kann, sowie mit einer Closed-Loop-Optimierung zur Verbesserung von Ertrag und Durchsatz. Der Surfscan wurde auch mit einer umfassenden Suite von messtechnischen Werkzeugen und Funktionen entworfen, die High Dynamic Range (HDR) Bildgebung, 3D-Messtechnik und automatisierte Line Critical Dimension (CD) Mapping umfassen. Mit diesen Tools haben Anwender die Möglichkeit, verschiedene Bereiche eines Wafers mit hoher Genauigkeit und Geschwindigkeit zu messen. Darüber hinaus verfügt das Modell über eine Reihe von Reporting-Tools, die es Anwendern ermöglichen, Testergebnisse schnell zu überprüfen und zu analysieren und Trends zu identifizieren, um die Prozessoptimierung zu informieren. Der Surfscan ist hochgradig konfigurierbar und kann an eine Vielzahl von Wafer- und Prozessarten angepasst werden. Als solche eignet sich die Ausrüstung für eine Reihe von Anforderungen an Wafer-Tests, von der Fehleranalyse bis hin zu Forschung und Entwicklung. Mit seiner robusten technischen Spezifikation und seiner umfassenden Palette an Messtechnik und Fehlererkennungsfunktionen ist der Surfscan sowohl für den Hochvolumen- als auch für den Niedervolumenlaborbetrieb geeignet.