Gebraucht KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9213312 zu verkaufen

KLA/TENCOR 6220 Surfscan ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die entwickelt wurde, um die elektrischen Eigenschaften von Wafern auf der Nanoskala zu messen und eine genaue Analyse von Halbleiterherstellungsprozessen zu ermöglichen. Es ist mit fortschrittlichen optischen und elektrischen messtechnischen Fähigkeiten ausgestattet, die es ermöglichen, Oberflächenfehler zu erkennen, Verunreinigungen zu verfolgen und Oberflächenrauhigkeiten und Filmdicken zu messen. Die 6220 verfügt über ein hochempfindliches Optik-Subsystem bestehend aus sechs CCD-Kameras. Durch Variation der LED-Lichtquelle können die Kameras unterschiedliche Kontraste zwischen Probe und Probenoberfläche erfassen. Dadurch kann das System Submikron-Formen und Untergrunddefekte erkennen, die mit herkömmlichen optischen Messtechniken nicht erkennbar wären. Die Kameras sind auch in der Lage, Daten aus einer vollständigen 360⁰ Ansicht der Probenoberfläche zu sammeln, die sowohl die Geschwindigkeit und Genauigkeit der Analyse erhöht. Die 6220 verfügt auch über ein proprietäres elektrisches Subsystem, das automatische Cantilever Beam Measurement (ACBM) Technologie verwendet. Dies ermöglicht es, nanoskalige Variationen in der Oberflächentopographie zu messen, indem elektrische Signale mit einer Genauigkeit von Sub-Picometern während ihrer Fahrt durch die Waferoberfläche erfasst werden. Das Gerät ist auch mit einer Multi-Tap-Technologie ausgestattet, die eine erhöhte Genauigkeit und Durchsatz durch die Erfassung eines größeren Datenbereichs von jedem Messpunkt bietet. Darüber hinaus enthält die 6220 ein proprietäres Softwarepaket, mit dem Benutzer maßgeschneiderte Messtechnik-Programme auf der Grundlage ihrer spezifischen Bedürfnisse erstellen können. Dieses Softwarepaket bietet Anwendern eine breite Palette von Funktionen wie Datenanalyse und Datenvisualisierungstools sowie automatisierte Berichtsfunktionen. Die Software verfügt auch über Rückverfolgbarkeitsfunktionen, mit denen Benutzer die Mengen und Eigenschaften ihrer Probe verfolgen können. Die optischen, elektrischen und Softwarefunktionen des 6220 ermöglichen es, Wafersubstrate auf Nanoskala genau zu analysieren und zu messen. Die fortschrittlichen messtechnischen Merkmale der Maschine ermöglichen es Anwendern, kleinflächige Oberflächenfehler zu erkennen und genaue Messungen in kurzer Zeit zu erhalten, was sie zu einer idealen Wahl für Halbleiterhersteller macht.