Gebraucht KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9222541 zu verkaufen

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ID: 9222541
Weinlese: 1999
Wafer inspection system 1999 vintage.
KLA/TENCOR 6220 Surfscan ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen verwendet wird. Es wird verwendet, um elektrische und physikalische Eigenschaften der Halbleiterscheibe wie Oberflächentopographie, Oberflächenebenheit, Photomaske und Waferausrichtung, Overlay-Genauigkeit, Defektgröße, Kontamination und mehr zu messen. Das System umfasst: ein Optikmodul; ein Bildverarbeitungs- und Analysemodul; eine Abtaststufe; und eine webbasierte Benutzeroberfläche. Das Surfscan 6220 Optikmodul verwendet eine CCD-Kamera, um das Oberflächenprofil und die Koeffizienten des Wafers zu messen. Das Gerät bietet eine automatisierte Kalibrierroutine, um genaue Ergebnisse zu liefern, und eine integrierte Autofokus-Funktion hält die Oberfläche für genaue Messungen im Fokus. Das Bildverarbeitungsmodul verwendet erweiterte Bildverarbeitungsalgorithmen, um Oberflächenfehler über einen Wafer zu erkennen, zu klassifizieren und zu messen. Die automatisierten Fehlererkennungsalgorithmen können Funktionen so klein wie wenige Nanometer erkennen und Partikel, Kratzer und mehr erkennen. Die Surfscan 6220 Scanstufe ermöglicht ein hochgenaues Scannen des Wafers. Es verfügt über eine 300mm x 300mm Plattform mit einer motorisierten Z-Achse, die eine optimale Oberflächenbehandlung ermöglicht. Der Scanner richtet den Wafer exakt auf die CCD-Kameramaschine aus und sorgt so für konsistente und genaue Ergebnisse. Die webbasierte Benutzeroberfläche bietet Benutzern eine zugängliche, intuitive Möglichkeit, mit dem Tool zu interagieren. Benutzer können Scanprofile erstellen und speichern, um bei Bedarf einfach auf sie zuzugreifen, sowie Aufgaben wie Kalibrierung, Scan-Sitzung und Zugriffsprotokoll- und Einstellungsinformationen ausführen. KLA Surfscan 6220 wafer testing and metrology asset bietet eine zuverlässige, kostengünstige Möglichkeit, Halbleiterscheiben zu messen und zu inspizieren. Es ist hochgenau, einfach zu bedienen und bietet eine umfangreiche Reihe von Funktionen, um eine optimale Leistung zu liefern.
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