Gebraucht KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9223462 zu verkaufen

KLA/TENCOR 6220 Surfscan ist eine automatisierte, hochpräzise Wafertest- und Messtechnik-Ausrüstung, die leistungsstarke, wiederholbare und genaue Ergebnisse liefert, um die höchsten Standards der Qualitätskontrolle und der Waferproduktion zu erfüllen. Es ist für Halbleiter-, MEM- und Photovoltaikanwendungen in Forschung und Entwicklung sowie in Serienumgebungen konzipiert. Das Surfscan 6220-System kann insbesondere Wafer-Ebenheit, Wafer-Verzug sowie die kritischen Abmessungen von Werkzeugen auf Wafern messen. Es liefert auch kritische Berichte und Daten für Prozesssteuerung, Gerätekennzeichnung, Fehleranalyse und Design/Prozessoptimierung. Die Surfscan-Maschine besteht aus einem Vision-Tool, einer Bühne und einem Wafer-Handler. Das Vision Asset umfasst eine leistungsstarke CCD-Laserreflexion basierende Autofokus-Einheit und einen robusten Fehlererkennungsalgorithmus, um sicherzustellen, dass Messungen hochgenau und wiederholbar sind. Die Bühne besteht aus einer fortschrittlichen Feedback-Topographie und einem hochauflösenden optischen Sensor, während der Wafer-Handler schnelle Messzeiten durch schnelles Laden, Entladen und automatisches Bewegen von Substraten vom Vision-Modell zur Bühne bietet. Zur Nutzung der Geräte wird zunächst ein Wafer in den Handler geladen und in das Vision-System eingelegt. Nach dem Autofokus- und Detektionsvorgang wird der Wafer auf die Bühne gestellt und dort mit einer kohärenten Lichtquelle abgetastet. Das reflektierte Licht wird gesammelt und zur weiteren Analyse gereinigt. Wenn Daten gesammelt werden, werden sie mithilfe von Algorithmen analysiert, um Ebenheit, Verzug und andere wichtige Parameter zu messen. Die Messergebnisse werden in einem Bericht gesammelt, der die Wafer-Topographie, kritische Abmessungen und andere wichtige Wafer-Eigenschaften enthält. Darüber hinaus werden Wartungs- und Kalibrierroutinen automatisiert, um die Konsistenz der Ergebnisse zu erhöhen. Insgesamt bietet KLA/Tencore KLA 6220 Surfscan Anwendern leistungsstarke und wiederholbare Wafertest- und Messtechnik-Daten, um die höchsten Qualitätskontrollanforderungen zu erfüllen. Es ist sehr zuverlässig, genau und einfach zu bedienen, so dass es eine ausgezeichnete Ergänzung zu jeder Wafer-Produktionslinie.