Gebraucht KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9249955 zu verkaufen

KLA/TENCOR 6220 Surfscan ist eine vielseitige Wafer-Prüf- und Messtechnik, die für den Einsatz in fortschrittlichen Halbleiterherstellungsprozessen entwickelt wurde. Dieses System ist in der Lage, physikalische, elektrische und optische Parameter von Waferkomponenten mit hoher Genauigkeit und Zuverlässigkeit zu messen. Das Gerät ist mit verschiedenen Werkzeugen ausgestattet, um die Oberfläche jedes Wafers zu analysieren, z. B. einen optischen Profiler, einen Spannungssensor, ein optisches Mikroskop, ein optisches Reflexionsspektrophotometer und eine Atomkraftmikroskopie (AFM). Dies gewährleistet eine präzisere Auswertung der Komponenten des Wafers mit besserer Auflösung. Der optische Profiler ermöglicht die schnelle und genaue Messung von Oberflächenmerkmalen - einschließlich Oberflächenstufen, Partikeln und Ungleichmäßigkeit - mit höchster Genauigkeit. Es bietet auch eine breite Palette von Analysefähigkeiten, wie Signalquerkorrelation und schnelle Fourier-Transformation (FFT) der Messdaten. Der Spannungssensor ermöglicht es dem Benutzer, die elektrischen Eigenschaften der Komponenten des Wafers zu messen, indem eine Spannung an das Bauelement angelegt und der resultierende Strom gemessen wird. Dies liefert wertvolle Daten über das Verhalten der elektrischen Komponenten des Geräts, so dass der Benutzer seine Leistung charakterisieren kann. Das optische Mikroskop dient dazu, die winzigen Merkmale der Bauteile des Wafers, wie Defekte oder Verschmutzungen, mit einer 10fachen Vergrößerung zu beobachten. Das optische Reflexionsspektrophotometer der Maschine wird verwendet, um Oberflächeneigenschaften und Defekte zu messen, was hochgenaue Ergebnisse liefert. Ein Application Specific Integrated Circuit (ASIC) kann verwendet werden, um digitale Schaltungen im Rahmen des Messtechnikprozesses zu testen. Schließlich ist das Werkzeug mit einem AFM ausgestattet, das auf starke Kraftfelder angewiesen ist, um einzelne Merkmale auf der Oberfläche eines Wafers zu messen und zu charakterisieren. Diese Technologie kann detaillierte Bilder der Schwingungen der Oberfläche eines Wafers sowie der Rauheit und Struktur der Oberfläche liefern. Zusammengefasst kombiniert KLA 6220 Surfscan die neuesten Wafer-Prüf- und Messtechnologien zu einer Einheit, die es Anwendern ermöglicht, die physikalischen, elektrischen und optischen Eigenschaften der Komponenten ihres Wafers genau und schnell zu analysieren. Seine Präzision und Vielseitigkeit machen es zu einem wertvollen Werkzeug im Bereich der Halbleiterherstellung.