Gebraucht KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9256450 zu verkaufen
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KLA/TENCOR 6220 Surfscan ist ein modernes Wafer-Prüf- und Messtechnikgerät, das zur Bewertung und Messung der elektrischen, physikalischen und optischen Eigenschaften von Halbleiterscheiben während der Produktion verwendet wird. Das System wurde entwickelt, um sensible, genaue und wiederholbare Messungen kritischer Parameter auf Siliziumwafern und ICs bereitzustellen. KLA 6220 Surfscan verwendet eine laserbasierte berührungslose optische interferometrische Messung, die es ermöglicht, genaue Messungen mit wiederholbaren Auflösungen von weniger als 0,5 nm zu erzeugen. Das Gerät ist mit fortschrittlicher Software und Echtzeit-Datenanalysefunktionen ausgestattet, so dass Daten und Ergebnisse in einem umfassenden grafischen Format dargestellt werden können. Die Maschine kann auch zur Messung mehrerer Parameter verwendet werden, so dass der Benutzer die Gesamtqualität eines Geräts oder Wafers beurteilen kann. Das Werkzeug ist in der Lage, eine Vielzahl von Funktionen, Fehlertypen, Oberflächenrauhigkeiten und Ebenheit, Spannungen, Dehnungen, Schichtabständen, Ätztiefen, Neigungen und Schritthöhen zu testen. Es verfügt auch über eine hochauflösende Stereoscan-Kamera, so dass sie Oberflächenmerkmale wie Mikrostaub, Musterdefekte und Kratzer identifizieren und inspizieren kann. Zusätzlich ist die Anlage mit berührungslosen optischen Sonden ausgestattet, die Kapazitäts-, Leckage-, Flächenwiderstands- und Widerstandswerte auf einem Nanometer-Niveau der Genauigkeit messen können. TENCOR 6220 Surfscan kann entweder manuell oder automatisiert betrieben werden. Im automatisierten Modus kann der Bediener benutzerdefinierte Testsequenzen einrichten und programmieren, so dass alle Testdurchläufe auf der gleichen Basislinie abgeschlossen werden. Dies hilft, wiederholbare und konsistente Wafertests von Run bis Run sicherzustellen. Der Benutzer kann auch Sicherheitsparameter einrichten, die während des Tests ein sicheres Maß an Leistung aufrechterhalten. Das Modell ist mit der gängigsten Halbleiterherstellungssoftware und Datenbankprogrammen kompatibel und kann in vorhandene Waferbearbeitungsgeräte integriert werden. Auf diese Weise können bestehende Wafer-Produktionslinien leicht auf 6220 Surfscan umgestellt werden. Seine intuitive und benutzerfreundliche Oberfläche ermöglicht es Benutzern, sich schnell mit der Ausrüstung zu befähigen, während seine fortschrittliche Technik und Überwachungsfunktionen eine effiziente und zuverlässige Bedienung ermöglichen. KLA/TENCOR 6220 Surfscan ist ein hochfähiges Wafer-Prüf- und Messsystem, das kritische Eigenschaften von Silizium-Wafern und ICs genau und zuverlässig messen kann. Dank seiner Flexibilität und fortschrittlichen Software kann es in die beliebteste Halbleiterherstellungssoftware integriert werden und verfügt über eine intuitive und benutzerfreundliche Bedienung, die schnell beherrscht werden kann.
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