Gebraucht KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9358653 zu verkaufen
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ID: 9358653
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1995
Wafer inspection system, 8"
1995 vintage.
KLA/TENCOR 6220 Surfscan ist eine fortschrittliche Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die für den Einsatz in Halbleiterherstellungsanlagen entwickelt wurde. Dieses System ist optimiert, um schnelle, hochpräzise Messtechnik auf Wafern verschiedener Größen und Formen durchzuführen. Es bietet eine beispiellose Prozesskontrolle für Gerätehersteller, so dass sie schnell Muster, Defekte und andere Anomalien identifizieren können, die ihre Waferbearbeitungsprobleme verursachen könnten. Die 6220 besteht aus mehreren Schlüsselkomponenten, die zusammenarbeiten, um Wafer zu messen und zu analysieren. Das erste Element der Einheit ist das Messtechnikwerkzeug, das ein Laserinterferometer zur Messung der Wafertopographie umfasst. Dieses hochpräzise Messwerkzeug ist in der Lage, Messwerte auf dem Nanometermaßstab zu erfassen, wodurch extrem feine Details ermittelt werden können. Es ermöglicht eine genaue Analyse der Oberfläche und Form des Wafers. Das zweite Element ist die Computerhardware und Software, aus der die Surfscan-Bedienmaschine besteht. Mit einem leistungsstarken Server, großer Speicherkapazität und fortschrittlicher Programmierung kann der Surfscan für eine Vielzahl von Waferanalyse-Aufgaben konfiguriert werden. Das Tool wird von einer Automatisierungssoftware gesteuert, mit der Messmodi definiert, Abtastzeiten festgelegt und Bildspeicherung und -abruf verarbeitet werden können. Das dritte Element ist der Bildaufnahmeabschnitt des Assets, der zur Aufnahme von Bildern des Wafers während der Messung verwendet wird. Diese Bilder werden auf dem Modell gespeichert, so dass die Daten und Analysen leicht abgerufen werden können. Das Gerät ist auch mit leistungsfähiger Analysesoftware ausgestattet, mit der eine Vielzahl von Berechnungen durchgeführt werden können. Schließlich ist das System mit fortschrittlichen Kommunikationsmöglichkeiten ausgestattet, so dass es mit anderen Unterstützungssystemen in der Halbleiteranlage, wie der werkseitigen Steuereinheit, integriert werden kann. Dadurch kann der Surfscan die Ergebnisse der Wafertests besser verfolgen, Probleme diagnostizieren und Prozessschritte auswerten. Als Ganzes betrachtet, ist KLA 6220 Surfscan ein leistungsstarkes Werkzeug für Gerätehersteller. Es bietet eine umfassende Messtechnik-Maschine mit fortschrittlichen Mess-, Bilderfassungs- und Diagnosefunktionen, die es ideal für die schnelle und genaue Prüfung und Analyse von Wafern verschiedener Größen und Formen machen.
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