Gebraucht KLA / TENCOR 6220 Surfscan #9371741 zu verkaufen

KLA/TENCOR 6220 Surfscan ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die für hochauflösende 2D-Messtechnik und Fehlerinspektion entwickelt wurde. Es ist in der Lage, eine umfassende Palette von Messungen an nackten und gemusterten Wafern zur Präzisionsausrichtung und Verschmutzungserkennung durchzuführen. Das System umfasst ein integriertes Wafer-Handling-Subsystem, ein Scan-Head-Modul und ein taktiles Surface-Imaging-Softwarepaket. Das Wafer Handling Subsystem soll eine präzise Bewegungssteuerung der Waferoberfläche gegen die Optik des SurfScan ermöglichen. Es ist auch in der Lage, eine automatisierte Zuführung und Bewegung der Wafer auf die Arbeitsfläche durchzuführen. Das Scankopfmodul besteht aus einer CCD-Kamera, einer Laserquelle und einem mit einem Schrittmotor ausgestatteten optischen Gerät, das den Wafer beim Bewegen über die Arbeitsfläche abtasten kann. Dadurch kann die Maschine Bilder des Wafers zur Analyse erfassen. Die CCD-Kamera hat eine Auflösung von 1000 nm und ist in der Lage, Bilder mit einem Sichtfeld von bis zu 34 mm zu erfassen. Die Laserquelle hat eine Wellenlänge von 1060 nm und eine Leistungsabgabe von 200 W. Der Schrittmotor ist in der Lage, Submikron-Präzision in Stufen von 650 x 650 nm zu erreichen, was hochauflösende Bilder ermöglicht. Der SurfScan enthält auch ein taktiles Oberflächenbild-Softwarepaket, das sowohl Oberflächen- als auch Unterflächeninformationen aus den erfassten Bildern extrahieren kann. Dies geschieht durch Messung der Oberflächenrauhigkeit und Fehlertopographie, Wafer Ebenheit und Bogen sowie Oberflächenverunreinigung. Das Softwarepaket beinhaltet auch verschiedene Werkzeuge zur Fehlerinspektion, -bearbeitung und -analyse. Darüber hinaus ist das Werkzeug in der Lage, Bilder in Hellfeld und Dunkelfeld Beleuchtung zu erfassen. Dies ermöglicht es dem Asset, eine breite Palette von Defekten wie Chips, Kratzer, Partikel, Kantensplitter und Gruben zu erkennen. Das Modell entspricht den Industriestandards einschließlich SEMI 300-02 und MIL-STD-883. KLA 6220 Surfscan ist eine fortschrittliche Wafer-Prüf- und Messtechnik, die eine effiziente und genaue Inspektion, Prüfung und Analyse von Wafern ermöglicht. Mit seiner hohen Auflösung, Präzisionsausrichtung und Fehlererkennungsfähigkeit ist das System in der Lage, eine schnelle und genaue Analyse verschiedener Arten von Waferproben bereitzustellen.