Gebraucht KLA / TENCOR 6300 #9394711 zu verkaufen
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KLA/TENCOR 6300 Wafer Testing and Metrology Equipment wird verwendet, um eine Vielzahl von physikalischen Eigenschaften von Wafern für Halbleiterhersteller zu messen. Es ist ein hochpräzises Werkzeug, das eine Vielzahl von Wafer-Test- und Messfähigkeiten bietet. Das KLA 6300 System nutzt zwei integrierte Subsysteme. Die erste ist eine Die-to-Die-Bildgebungsfähigkeit, die es Benutzern ermöglicht, sowohl 2D- als auch 3D-Topographie eines Wafers zu messen, und die zweite ist ein hochauflösendes spektroskopisches Ellipsometer, das eine Vielzahl von physikalischen Eigenschaften messen kann, einschließlich optischer Absorption, Brechungsindex und Oberflächenrauhigkeit. Die Bildverarbeitungsfunktionen der TENCOR 6300-Einheit werden verwendet, um 2D-Bilder oder Videoinformationen innerhalb eines Nanometer-Raumauflösungsniveaus zu erfassen. Dies ermöglicht die Erfassung und Analyse eines hohen Detailniveaus, das normalerweise mit bloßem Auge nicht sichtbar ist. Die Maschine hat auch die Fähigkeit, 3D-Bilder von Wafern zu erfassen, die genaue Messungen der Dicke, Schritthöhen und andere kritische Schichteigenschaften ermöglichen. Die spektroskopischen Ellipsometerfunktionen des 6300-Tools umfassen die Fähigkeit, optische Eigenschaften wie Reflektivität und Absorption eines Wafers in einem Frequenzbereich von 250 bis 2.500 nm zu messen. Dies hilft, die Dicke, den Brechungsindex und die Schichtdicke eines Wafers zu bestimmen. KLA/TENCOR 6300 bietet auch eine Reihe von Messtechniken, einschließlich fester oder variabler Winkelmessungen, Polarisationsmanipulation und Hochgeschwindigkeitsmessungen, die genaue und wiederholbare Ergebnisse liefern. Zusätzlich zu diesen Funktionen verfügt KLA 6300 über leistungsstarke Datenverwaltungsfunktionen, mit denen Benutzer auf Daten aus verschiedenen Systemen zugreifen und diese analysieren, Informationen auf benutzerdefinierte Weise speichern und ganz einfach benutzerdefinierte Berichte erstellen können. Dies hilft, den Wafer-Testprozess zu optimieren und die Gesamteffizienz zu verbessern. TENCOR 6300 ist ein ausgezeichnetes Werkzeug zur Qualitätskontrolle in der Halbleiterherstellung und eignet sich sowohl für Forschungs- als auch für Inline-Prozesskontrollanwendungen. Die Zuverlässigkeit, Genauigkeit und Datenverwaltungsfunktionen von 6300 machen es zu einem idealen Instrument für Wafertests und messtechnische Anwendungen.
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