Gebraucht KLA / TENCOR 6400 Surfscan #9155219 zu verkaufen

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ID: 9155219
Wafer inspection system Single phase, 60 Hz 17 Amps, 208 V 1994 vintage.
KLA/TENCOR 6400 Surfscan ist ein hochpräzises Werkzeug zur Messung der Oberfläche von Wafern. Es verwendet ein patentiertes interferometrisches berührungsloses Profilometer (INC), um Oberflächenmerkmale auf den Wafern wie topographische und dimensionale Informationen zu messen. Die INC ist eine hochmoderne Technologie zur schnellen und genauen Messung von Nanometerdefekten. KLA 6400 Surfscan wurde entwickelt, um auf Serienanlagen zu arbeiten. Es verwendet eine Hochleistungs-, Doppelzonenscanausrüstung, um zuzunehmen, Durchfluss und abzunehmen testen Zeit wieder. Das Dual-Zone-System verfügt über einen 7µm-Detektor zur frühzeitigen Erkennung von Defekten an einem Wafer und einen 1µm-Detektor zur Messung präziser Oberflächenmerkmale. Es ist in der Lage, einen Wafer bei 300mm/min zu scannen, wobei Daten bei 200 Datenpunkten pro mm erfasst werden. TENCOR 6400 Surfscan verfügt auch über mehrere Messtechnik-Tools. Dazu gehören eine Hochgeschwindigkeits-Teilchenmesstechnik, eine kontrastarme Teilchenmesstechnik, ein Topographie-Messtechnik-Tool, ein 3D-Oberflächenmesstechnik-Asset und ein Rauheit-Messtechnik-Modell. Alle diese Systeme können verschiedene Arten von Wafern messen, einschließlich Quarz, Aluminium und Kunststoff-Wafer. 6400 Surfscan hat auch eine Reihe von anderen Funktionen. Es ist mit einer automatisierten Kalibrierung und Ausrichtung ausgebaut, die eine perfekte Ausrichtung der oberen und unteren Oberflächen gewährleistet. Es verfügt auch über ein ER-2000 Advanced Processing System, das eine Datenanalyse und -kontrolle der von KLA/TENCOR 6400 Surfscan gesammelten Daten ermöglicht. KLA 6400 Surfscan ist voll mit Funktionen, die Wafertests und Messtechnik einfacher und schneller machen. Es ist das ideale Werkzeug für Halbleiterunternehmen, die ein genaues und effizientes Werkzeug für Wafertests und Messtechnik benötigen. Mit seiner Genauigkeit und seinen Eigenschaften ist TENCOR 6400 Surfscan ein äußerst zuverlässiges Werkzeug, mit dem Oberflächenmerkmale mit Leichtigkeit und Präzision gemessen werden können.
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