Gebraucht KLA / TENCOR 6400 Surfscan #9180164 zu verkaufen

KLA/TENCOR 6400 Surfscan ist ein fortschrittliches Wafertest- und Metrologiesystem, das Waferprozesse in der Halbleiterindustrie messen, qualifizieren und debuggen soll. Es ist ein multifunktionales Werkzeug für horizontale und vertikale Anwendungen sowie für die vordere und hintere Oberflächenbildgebung. Die Standardversion von Surfscan 6400 ist mit einer Vielzahl von messtechnischen Funktionen ausgestattet, die alle entwickelt wurden, um den Ertrag von Produktionswafern zu verbessern und die Qualität zu verbessern. Dazu gehören die optische Streuung zur Messung von Oberflächentopographie und Merkmalsform sowie die dreidimensionale optische Interferometrie zur Messung von Dünnschichtdicke und zeitlicher Variation. Darüber hinaus verfügt die optische Streumetrie über einen vertikalen Scanner und eine hochauflösende Kamera, mit der verschiedene Oberflächenfehler identifiziert und charakterisiert werden können. Surfscan 6400 bietet auch eine Vielzahl von automatisierten Berichtsfunktionen, die dazu beitragen können, die Analysezeit zu reduzieren und die Produktivität zu steigern. Diese Berichte können verwendet werden, um Wafer mit bestimmten Kriterien zu vergleichen und eine umfassende „Gesundheitskarte“ für ein Produktionslos bereitzustellen. Erweiterte automatisierte Überprüfungssoftware kann auch verwendet werden, um den Überprüfungsprozess von Scatterometrie- und Interferometrie-Inspektionsdaten zu beschleunigen, was die Rüstzeit und Verwirrung drastisch reduzieren kann. Surfscan 6400 verfügt über mehrere neue Verbesserungen, die die Leistung der Wafer-Messtechnik erweitern. Dazu gehört die Dual-Licht-Streuung, die sowohl die Oberflächentopographie als auch die einfallende Winkelvariation gleichzeitig misst; Nassätzprofilierung zur Messung von Sperrschichten und anderen Ätzprozessparametern; Prismenprofilierung, die Schichtdicken in transparenten Dielektrika messen kann; und ein intelligentes Moduldesign mit höherem Durchsatz von einem kleineren Platzbedarf. Surfscan 6400 bietet auch die Möglichkeit, den Werkzeugaufbau so anzupassen, dass er mehrere Substratformate aufnimmt, z. B. Beuleninspektion, Schritthöheninspektion und Profilscan. Es bietet außerdem eine überlegene Scangeschwindigkeit und eine geringe Rüstzeit, während es Benutzern ermöglicht, Prozessprobleme in einem Bruchteil der Zeit genau und effizient zu identifizieren. Insgesamt ist KLA 6400 Surfscan ein ausgezeichnetes Wafer-Test- und Messtechnik-System, das schnelle, zuverlässige Daten und erweiterte Anpassungsfunktionen für eine breite Palette von Anwendungen bietet. Auf diese Weise können Benutzer Prozessprobleme schnell und genau diagnostizieren, um die Waferleistung zu verbessern und Ausfallzeiten zu reduzieren.