Gebraucht KLA / TENCOR / PROMETRIX 6420 Surfscan #192177 zu verkaufen

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ID: 192177
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1997
Defect inspection systems, 8" Model no. 289108 Specifications: Software version V4.2 Windows 98 (1) port for 200mm wafers, non-copper EI & Gem/SECS with NFS Hummingbird CD-ROM and floppy drive Keyboard 1997 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscan ist eine hochmoderne Wafertest- und Messtechnikausrüstung, die im Bereich der Halbleiterherstellung eingesetzt wird. Es kombiniert hochentwickelte Bildgebungs- und Messhardware mit ausgefeilter Software, um einen beispiellosen Einblick in die Eigenschaften von Siliziumwafern und anderen Hightech-Komponenten zu ermöglichen. KLA 6420 Surfscan wurde für eine umfassende Analyse von Geräten auf einem IC-Wafer entwickelt, sowohl in der Messtechnik als auch in der Bildgebung. Es verwendet ein fortschrittliches optisches System mit einer automatischen Ausrichtungs- und Ausrichtungskorrekturfunktion, um eine schnelle, wiederholbare Genauigkeit bei der Analyse zu gewährleisten. Es beinhaltet auch mehrere Optionen zur Prozessüberwachung während der Werkzeugherstellung, die eine komplexe Prozesssteuerung und -analyse sowie eine vollständige Palette kundenspezifischer und standardmäßiger Messverfahren ermöglichen. TENCOR 6420 Surfscan umfasst eine integrierte Bilderfassungseinheit, die die Erfassung detaillierter Bilder von bis zu 8000x8.000 Pixeln ermöglicht. Mit einer Auflösung von 0,45 μ m ermöglicht die hohe Auflösung eine detaillierte Analyse verschiedener Elemente auf einem Wafer, einschließlich Funktionen wie Linien, Tonhöhen und Kontakte. Darüber hinaus kann die Maschine im Vergleich zu herkömmlichen Systemen einen viermal höheren Durchsatz verarbeiten. Der 6420 Surf Scan ist mit zwei kanalparallelen Detektoren ausgestattet, mit zwei Messköpfen, die in Verbindung oder separat zur Inspektion verwendet werden können. Dies ermöglicht eine schnelle und effiziente Leistung und schaltet bei Bedarf zwischen den beiden Kanälen um. Das Tool ist auch in der Lage, eine erweiterte 2D- und 3D-Bildverarbeitung sowie eine automatisierte Fehlerklassifizierung zu ermöglichen. Erweiterte Algorithmen ermöglichen PROMETRIX 6420 Surfscan, zwischen realen und falschen Fehlern zu unterscheiden und Fehler zu erkennen, ob sie gruppiert oder isoliert sind. 6420 Surfscan ist mit einem vollständig integrierten Mehrzonen-Analyse-Asset (MZAS) und einem TENCOR-Defektklassifikationsmodell (DCS) ausgestattet und ermöglicht es Anwendern, Prüfparameter zu verfeinern sowie Fehlerdichte, Größe und Form zu analysieren. Das MZAS ermöglicht schnelle Messungen mehrerer Zonen über die gesamte Waferoberfläche, während das DCS gruppierte, isolierte und geometrieabhängige Defekte mit verschiedenen Technologien genau identifizieren kann. Insgesamt ist KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscan eine zuverlässige und präzise Prüf- und Messtechnik für Wafer. Es bietet genaue Messungen und detaillierte Analyse verschiedener Elemente auf einem IC-Wafer mit einer extrem hohen Auflösung. Es umfasst mehrere Technologien, die eine schnelle und effiziente Leistung ermöglichen und gleichzeitig einen großen Einblick in die Eigenschaften und Leistung eines Wafers bieten.
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