Gebraucht KLA / TENCOR 6420 Surfscan #293673416 zu verkaufen

KLA/TENCOR/PROMETRIX 6420 Surfscan ist eine Wafer-Prüf- und Messtechnik-Ausrüstung, die entwickelt wurde, um die Leistung von Halbleiterbauelementen während des Herstellungsprozesses zu überwachen. Es kann eine Vielzahl von Parametern messen, einschließlich Dünnschichtdicke, Flachdefekte, Grenzpixel und Linienkantenrauhigkeit. KLA 6420 Surfscan ist auch in der Lage, strukturelle und elektrische Eigenschaften wie Flächenwiderstand, Topographie, Musterdichte und Leitfähigkeit zu charakterisieren. Der Surfscan 6420 ist mit einer breiten Palette an Hard- und Software ausgestattet, darunter ein fortschrittliches Bildverarbeitungssystem, eine digitale Signalverarbeitung und eine robuste Automatisierungsplattform. Die Abbildungseinheit besteht aus einer Kamera, einer Optik und einer Lichtquelle, die es ermöglicht, hochauflösende Bilder der Medienoberfläche schnell aufzunehmen. Es verfügt auch über ein großes Display, mit dem Bediener schnell und einfach die Scanergebnisse überprüfen können. Die digitale Signalverarbeitung innerhalb der Maschine soll Daten analysieren und interpretieren, um statistisch relevante Metriken zu erstellen. Dies bedeutet, dass das Werkzeug subtile Fehler, die sonst übersehen werden könnten, genau erkennen kann. Die Automatisierungsplattform ermöglicht die Integration der 6420 in eine Produktionsumgebung, wobei die Anlage in der Lage ist, automatisierte Inspektionen durchzuführen, um Prozessvariationen und Produktionserträge zu ermitteln. Das Modell ermöglicht auch die Fernbedienung und den Zugriff mit sicherem Fernzugriff über Ethernet, sodass die Betreiber Parameter von jedem Ort aus remote anpassen können. Ein weiteres wichtiges Merkmal ist die Fähigkeit der Geräte, chemisch verbesserte Medien schnell zu analysieren. Dazu gehören sowohl Trockenätz- als auch Naßätzprozesse, die häufig zu Veränderungen der Oberflächentopographie führen können. Der Surfscan 6420 ist in der Lage, solche Änderungen durch den Vergleich von Vor- und Nachätzbildern in Echtzeit genau zu erkennen, was bei Bedarf eine schnelle Korrektur ermöglicht. Das System kann auch Rohmessdaten zur späteren Analyse und Berichterstattung speichern. Berichte, die generiert werden können, umfassen wichtige Metriken wie Mittelwert, Median und Standardabweichung der Scanvektorgrößen. Solche Berichte sind entscheidend für die Bestimmung der Prozessleistung in einer Fertigungsumgebung. Insgesamt ist TENCOR 6420 Surfscan eine fortschrittliche Wafertest- und Messtechnik-Einheit, die genaue und zuverlässige Daten in einer Produktionsumgebung bereitstellt. Seine robuste Hardware und Software, kombiniert mit seiner Fähigkeit, chemisch verbesserte Medien zu überprüfen und zu analysieren, machen es zu einem leistungsstarken Werkzeug zur Überwachung der Leistung von fertigen Halbleiterbauelementen.